"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Пары Френкеля в германии и кремнии (О б з о р)
Емцев В.В., Машовец Т.В., Михнович В.В.
Выставление онлайн: 20 декабря 1991 г.

Дан обзор современных представлений о свойствах первичных собственных дефектов структуры --- пар Френкеля (ПФ) --- в кремнии и германии. Рассматривается процесс образования ПФ в условиях облучения электронами или gamma-лучами с энергией ~1 МэВ в интервале температур 4.2-300 K. Проведен оценочный расчет энергии взаимодействия компонентов ПФ --- вакансий (V) и межузельных атомов (I) в приближении анизотропного упругого континуума с учетом электростатического и упругого взаимодействия. Показано, что вклад флексоэлектрического эффекта может быть значительным и должен учитываться при оценке энергии электростатического взаимодействия между V и I и в тех случаях, когда один или оба компонента ПФ электрически нейтральны. Обсуждается вопрос о подвижности V и I, в том числе в условиях облучения, а также об их энергетическом спектре. Энергетические состояния вакансии (а, возможно, и межузельного атома), в кремнии образуют систему с отрицательной корреляционной энергией. На основании сделанных оценок следует ожидать, что энергетический спектр V и I, образующих метастабильную "близкую" ПФ, как в кремнии, так и в германии, существенно возмущен по сравнению со спектром изолированных V и I. Обсуждается вопрос о зависимости вероятности аннигиляции гомогенных (происходящих из одного узла решетки) V и I от целого ряда параметров --- температуры и интенсивности облучения, примесного состава облучаемого материала, концентрации равновесных и неравновесных носителей в нем. Этот анализ позволяет качественно интерпретировать сложную немонотонную зависимость эффективности образования первичных и вторичных (включающих в себя примесные атомы) дефектов от температуры и интенсивности облучения, от типа проводимости германия. Построена номограмма, описывающая зависимость эффективности дефектообразования в n-германии при 300 K. от интенсивности облучения и концентрации доноров V группы. Показано, что метастабильные ПФ в кремнии не наблюдаются, германий же предоставляет уникальную возможность наблюдать такие ПФ в элементарном полупроводнике с ковалентным типом связи.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.