"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние атмосферы термообработки на образование центров с глубокими уровнями
Выжигин Ю.В.1, Соболев Н.А.1, Грессеров Б.Н.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Выставление онлайн: 20 июля 1991 г.

Исследовано влияние различных факторов на спектр образующихся при термообработке кремния n-типа проводимости центров с глубокими уровнями. Установлено, что отжиг в потоке аргона или в вакууме приводит к образованию трех центров с глубокими уровнями с энергиями ионизации E3=Ec-0.455, E5=Ec-0.266, E7=Ec-0.193 эВ и сечениями захвата электронов sigma3=1.2· 10-14, sigma5=4.0· 10-16, sigma7=5.1· 10-16 см2. Определяющую роль в формировании этих центров играют вакансии. При термообработке в окислительной среде (сухой кислород и хлорсодержащая атмосфера) доминируют два центра с глубокими уровнями с E1=Ec-0.535, E4=Ec-0.277 эВ, sigma1=1.6· 10-15, sigma4=1.9· 10-17 см2, образование которых определяется пересыщением кремния собственными межузельными атомами. Диффузия алюминия и бора в потоке аргона или в вакууме также приводит к образованию центра E4, а в окислительной атмосфере может сопровождаться введением центров E7 и E8 (E8 =Ec- 0.185 эВ, sigma8=4.0· 10-14 см2). Образование центра E8 связано с обогащением кремния кислородом. Обсуждаются причины, по которым приводимые разными авторами параметры центров с глубокими уровнями, образующихся при термообработке кремния, весьма отличаются друг от друга.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.