"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
О пассивации электрически активных центров в полупроводниках нейтральным атомарным водородом
Рытова Н.С.1
1Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышеленности, Москва
Выставление онлайн: 20 января 1991 г.

Методом химических реакций получена система уравнений, описывающих кинетику пассивации доноров и акцепторов нейтральным атомарным водородом с учетом участия в реакциях пассивации свободных электронов и дырок. Вычислена степень пассивации, которая на начальной стадии кинетики одинакова для всех центров в материале любого типа, а в равновесии тем выше, чем больше энергия связи водородного комплекса и глубина залегания пассивируемого уровня, и становится резко асимметричной в примесном материале (для легирующей примеси она выше, чем для компенсирующей). Результаты расчета сопоставлены с экспериментом.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.