Предлагается новый способ обработки спектров DLTS, записанных с разными окнами скростей эмиссии. Для нахождения температурной зависимости постоянной времени термо-эмиссии theta от температуры в отличие от обычно используемых значений этой величины в максимуме пиков применяют точки пересечения кривых друг с другом. Для экспоненциальных сигналов релаксации, характерных для дискретного глубокого уровня, рассчитаны значения theta в точках пересечения пиков DLTS, записанных с разными t₁ при фиксированном отношении t₂/t₁. Помимо увеличения числа используемых точек способ позволяет корректно определить параметры глубокого уровня из спектров DLTS с высотой пика, зависящей от температуры. Применение способа иллюстрируется на примере глубокого уровня термодефекта в кремнии.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.