"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние водорода на процесс аннигиляции пар Френкеля в кремнии. Квантово-химическое исследование
Назаров А.Н.1, Лысенко В.С.1, Пинчук В.М.2, Янчук Т.В.2
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Киевский политехнический институт, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 23 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.

Проведены расчеты (методом самосогласованного поля молекулярных орбиталей с линейной комбинацией атомных орбиталей) в валентном приближении частичного пренебрежения диатомным дифференциальным перекрытием энергетических барьеров, которые необходимо преодолеть при образовании пар Френкеля и их аннигиляции в кремниевой решетке, насыщенной водородом. Расчеты проводились при оптимизации геометрии идеального кристалла кремния, кластера с вакансией и кластера с вакансией и различным числом атомов водорода. Показано: 1) водород вблизи вакантного узла предпочтительно локализуется во второй координационной сфере; 2) наличие водорода вблизи вакансии приводит к значительному понижению величины потенциального барьера для аннигиляции пары Френкеля; 3) зарядовое состояние водорода (H0, H+, H-) существенно влияет на величину потенциального барьера. Определена величина релаксации решетки в области вакансии в зависимости от наличия и зарядового состояния водорода. Расчет подтвердил ранее предложенную модель ускоренного отжига вакансионного дефекта в кремнии с водородом и наблюдаемые экспериментальные результаты.
  1. S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A, 47, 153 (1987)
  2. R. Singh, S.J. Fonash, A. Rohatgi, P.R. Choudhury, J. Gigante. J. Appl. Phys., 55, 867 (1984)
  3. M.Ya. Valakh, V.S. Lysenko, A.N. Nazarov, G.Yu. Rudko, A.S. Tkachenko, N.I. Shakhraychuk. Nucl. Instr. Meth. B, 44, 146 (1989)
  4. Guagang Qin, Zongla Hua. Sol. St. Commun., 53, 975 (1985)
  5. V.S. Lysenko, M.M. Lokshin, A.N. Nazarov, T.E. Rudenko. Phys. St. Sol. (a), 88, 705 (1985)
  6. H.J. Steine, S.K. Hahn. Appl. Phys. Lett., 56, 63 (1990)
  7. V.S. Lysenko, A.N. Nazarov, S.A. Valiev, I.M. Zaritskii, T.E. Rudenko, A.S. Tkachenko. Phys. St. Sol. (a), 113, 653 (1989)
  8. В.А. Губанов, В.П. Жуков, А.О. Литинский. \it Полуэмпирические методы молекулярных орбиталей в квантовой химии (М., 1976)
  9. В.М. Пинчук. Журн. физ. химии, 60, 2318 (1986)
  10. А.М. Грехов, В.М. Гунько, Г.М. Клапченко, Ю.П. Тсященко. ФТТ, 27, 285 (1985)
  11. P. Deak, M. Heinrich, L.C. Snyder, J.W.Corbett. Mater. Sci. Eng. B, 4, 57 (1989)
  12. H. Xu. Phys. Rev. B, 46, 1403 (1992)
  13. S. Estreicher. Phys. Rev. B, 36, 9122 (1987)
  14. S.V. Koveshnikov, S.V. Nosenko, A.M. Surma. Sol. St. Phenomena, 19, 265 (1991)
  15. M.Ya. Valakh, V.S. Lysenko, A.N. Nazarov, G.Yu. Rudko, N.I. Shakhraychuk. Phys. St. Sol. (a), 130, 45 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.