"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Температурное изменение оптических свойств жидкой фазы при наносекундном лазерном плавлении кремния и германия
Ивлев Г.Д.1, Гацкевич Е.И.1
1Институт электроники Академии наук Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 12 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Рассчитаны комплексные показатели преломления расплавов кремния и германия в температурных интервалах термодинамической устойчивости жидкого состояния. Расчет проведен в двух вариантах --- на основе моделирования структурных факторов расплавов и по их удельной электропроводности. Исследована динамика отражения зондирующего излучения с длинами волн 0.53 или 1.06 мкм от жидкой фазы, образующейся при наносекундном нагреве полупроводников излучением рубинового лазера, и методом оптической пирометрии определена ее пиковая температура в зависимости от плотности энергии облучения. Результаты расчета на основе моделирования структурного фактора лучше согласуются с экспериментом для германия, чем для кремния. Экспериментальные данные свидетельствуют о возможности значительного, на несколько сот градусов, перегрева жидкой фазы при наносекундном лазерном плавлении алмазоподобных полупроводников.
  1. А.Р. Регель, В.М. Глазов. \it Физические свойства электронных расплавов (М., 1980)
  2. К.М. Шварев, Б.А. Баум, П.В. Гельд. ФТТ, 16, 3246 (1974)
  3. J.N. Hodgson. Phil. Mag., 6, 509 (1961)
  4. M.O. Lampert, J.M. Koebel, P. Siffert. J. Appl. Phys., 52, 4975 (1981)
  5. D.H. Auston, C.M. Surko, T.N.C. Venkatesan, R.F. Slusher, J.A. Golovchenko. Appl. Phys. Lett., 33, 437 (1978)
  6. В.А. Пилипович, Г.Д. Ивлев, В.Л. Малевич, В.В. Жидков. Письма ЖТФ, 9, 594 (1983)
  7. M. Kemmler, G. Wartmann, D. von der Linde. Appl. Phys. Lett., 45, 159 (1984)
  8. G.E. Jellison, D.H. Lowndes. Appl. Phys. Lett., 51, 352 (1987)
  9. Г.М. Гусаков, А.А. Комарницкий. Письма ЖТФ, 13, 166 (1987)
  10. Г.Д. Ивлев, В.Л. Малевич. Квант. электрон., 15, 2584 (1988)
  11. М.Ю. Аверьянова, С.Ю. Карпов. ФТТ, 32, 548 (1990)
  12. J. Solis, C.N. Afonso. J. Appl. Phys., 69, 2105 (1991)
  13. G.D. Ivlev, V.L. Malevich, V.V. Zhidkov. Phys. St. Sol. (a), 106, k123 (1988)
  14. В.А. Пилипович, В.Л. Малевич, Г.Д. Ивлев, В.В. Жидков. ИФЖ, 48, 306 (1985)
  15. С.Ю. Карпов, Ю.В. Ковальчук, Ю.В. Погорельский. В кн.: \it Итоги науки и техники. Физические основы лазерной и пучковой технологии (М., 1988), т. 1, с. 181
  16. С.И. Анисимов, Я.А. Имас, Г.С. Романов, Ю.В. Ходыко. \it Действие излучения большой мощности на маталлы (М., 1970)
  17. \it Физика металлов. 1. Электроны, под ред. Дж. Займана (М., 1972)
  18. W.-H. Shin, D. Stroud. Phys. Rev. B, 31, 3715 (1984)
  19. Е.И. Гацкевич, В.Л. Малевич. ФТП, 22, 697 (1988)
  20. \it Достижения электронной теории металлов, под ред. П. Цише, Г. Леммана (М., 1984), т. 1
  21. J.P. Gabathuler, S. Steeb. Z. Naturforsch., 34A, 1314 (1979)
  22. А.Ф. Скрышевский. \it Структурный анализ жидкостей и аморфных тел (М., 1980)
  23. Д.К. Белащенко. \it Структура жидких и аморфных металлов (М., 1985)
  24. А.П. Пришивалко. \it Отражение света от поглощающих сред (Минск, 1963)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.