"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Кинетика образования и разрушения индуцированных радиационно-термическим воздействием пар V As Zn Ga в p-GaAs<Zn >
Глинчук К.Д.1, Прохорович А.В.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 23 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Изучено влияние электронного облучения (с дозой Phi=1016 см-2) и последующих отжигов (при температуре T=150/350o C, в течение времени t=10/600 мин) кристаллов p-GaAs<Zn> на образование и диссоциацию пар V As ZnGa. Анализ кинетики образования и диссоциации пар V As ZnGa позволил определить коэффициент диффузии радиационно-стимулированных вакансий мышьяка D (D=1.5·10-18, 1·10-17 и 5·10-17 см2/с при 150, 175 и 200o C соответственно), энергию активации процесса их диффузии varepsilonm (varepsilonm=1.1 эВ), а также энергию диссоциации последних varepsilond (varepsilond=1.6 эВ).
  1. K.D. Glinchuk, V.I. Guroshev, A.V. Prokhorovich, N.S. Zayats. Cryst. Res. Technol., 21, 811 (1986)
  2. К.Д. Глинчук, Н.С. Заяц, А.В. Прохорович. ФТП, 23, 657 (1989)
  3. К.Д. Глинчук, В.И. Гурошев, А.В. Прохорович. ФТП, 25, 82 (1991)
  4. К.Д. Глинчук, В.И. Гурошев, А.В. Прохорович. ФТП, 30, (1996)
  5. D. Stievenard, J.C. Bourgoin. J. Appl. Phys., 59, 743 (1986)
  6. D. Stievenard, X. Boddaert, J.C. Bourgoin, H.J. Bardeleben. Phys. Rev. B, 41, 5271 (1990)
  7. В.М. Глазов, В.С. Земсков. \it Физико-химические основы легирования полупроводников (М., Наука, 1967)
  8. Ф. Крегер. Химия несовершенных кристаллов (М., Мир, 1969)
  9. A. Ourmazd, W. Schr\ddot oter. J. Appl. Phys., 56, 1670 (1984)
  10. T. Zundel. Phys. Rev. B, 39, 13 549 (1989)
  11. Л.С. Смирнов. \it Физические процессы в облученных полупроводниках (Новосибирск, Наука, 1977)
  12. D. Pons, J.C. Bourgoin. J. Phys. C, 18, 3839 (1985)
  13. G. Dlubek. Phys. St. Sol. (a), 102, 443 (1987)
  14. J.C. Bourgoin, H.J. Bardeleben, D. Stievenard. Phys. St. Sol. (a), 102, 499 (1987)
  15. W. Pfeiffer, Appl. Phys. Lett., 58, 1751 (1991)
  16. S.J. Pearton. Appl. Phys. Lett., 59, 3571 (1991)
  17. S.J. Pearton, N.S. Hobson, C.R. Abernathy. Appl. Phys. Lett., 61, 1588 (1992)
  18. A.B. Conibear, A.W. Leitch. Phys. Rev. B, 49, 5069 (1994)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.