"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование пленок аморфного гидрированного нитрида кремния, полученных в плазме высокачастотного разряда
Абрамов А.С.1, Виноградов А.Я.1, Голубев В.Г.1, Косарев А.И.1, Матюшкина М.А.1, Пацекин А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 ноября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Исследованы пленки a-SiNx : H, полученные методом осаждения в плазме емкостного тлеющего разряда на повышенной частоте 55 МГц из смеси силан+азот. Обнаружено, что при выращивании a-SiNx : H на частоте 55 МГц по сравнению с 13.56 МГц требуются меньшие концентрации азота в рабочих смесях, чтобы проявилось влияние азота на электронные свойства получаемых пленок. Наблюдалось изменение электронных свойств исследованных пленок с изменением содержания азота в газовой фазе X= [N]/[Si]. Данные инфракрасной спектроскопии показали, что водород формирует химические связи преимущественно с кремнием. Азот в пленках, полученных при X<8, по-видимому, ведет себя как примесь, образующая химическую связь с решеткой кремния, тогда как при X>8 образуется широкозонный сплав типа a-SiNx : H.
  1. M. Tsukuda, S. Nata, Y. Kohda, S. Miyazaki, M. Hirose. J. Non-Cryst. Sol., 97--98, 317 (1987)
  2. M. Swartz, K.K. Kitamura, M. Vijan, J. Mebill, V. Cnnola, Z. Yaniv. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 95, 635 (1987)
  3. M. Yoshimi, T. Ishiko, K. Hattovi, H. Okamoto, Y. Hamakawa. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 1283 (1991)
  4. T.Futagi, N. Ohtani, M. Katsuno, K. Kawamura, Y. Ohta, H. Mimura, K.Kitamura. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 1271 (1991)
  5. D. Rvuanghara, W. Boonkosum, P. Siamchai, S. Panya. \it Conf. Sol. St. Dev. (Mater. Business Cent. for Acad. Soc. Japan, Tokio, 1992) p. 563
  6. S.Hasegava, S. Narikava, Y. Kurata. Phil. Mag. B, 48, 431 (1983)
  7. W.Y. Xu, Z.L. Sun, Z.P. Wang. J. de Phys., 42 (Suppl. C4), N 2, 695 (1981)
  8. K.S. Frolov, A.F. Koganov, A.S. Smirnov, L.D. Tsendin, A.Yu. Ustavshikov, A.J. Vinogradov. \it XXI Int. Conf. Prenom. in Ionized Gases (Bohum, 1993) p. 53
  9. R. Karcher, L. Ley. Phys. Rev. B, 30, 1984 (1986)
  10. A. Morimoto, Y. Tsujimura, M. Kumeda, T. Shimizu. Japan. J. Appl. Phys., 24, 1394 (1985)
  11. D.V. Tsu, G.L. Lucovsky, M.J. Mantini. Phys. Rev. B, 33, 7069 (1986)
  12. M. Vanecek, J. Kocka, S. Stuchlik, Z. Kozisek, O. Stika, A. Triska. Sol. Energy Mater., N 8, 411 (1983)
  13. A.I. Kosarev, A.G. Kovrov, R.A.G. Gibson, P.G. LeComber, T.A. Sidorova, A.Y. Vinogradov. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 371 (1991)
  14. А.В. Раков. \it Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур (М., Сов. радио, 1975)
  15. R. Tsu, W. Howard, L. Esaki. Phys. Rev., 172, 779 (1968)
  16. H. Shanks, C.J. Fang, L. Ley, M. Cardona, F.J. Demond, S. Kolbitzer. Phys. St. Sol. (b), 100, 43 (1980)
  17. H.R. Shanks, F.R. Jeffrey, M.E. Sowry, J. de Phys., 42 (Suppl. C4), N 2, 773 (1981)
  18. Rang-Cheng Lin, Si-Chen Lee. J. Appl. Phys., 72, 5474 (1992)
  19. G. Lucovsky. Sol. St. Commun., 29, 571 (1979)
  20. G. Lucovsky. Solar Cell, 2, 431 (1980)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.