"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Диоды на основе 6 H-SiC, полученные совмещением газотранспортной и сублимационной эпитаксии
Лебедев А.А.1, Мальцев А.А.1, Полетаев Н.К.1, Растегаева М.Г.1, Савкина Н.С.1, Стрельчук А.М.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 ноября 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.

Сообщается о совмещении сублимационной и газотранспортной эпитаксии для получения диодов на основе 6H-SiC. Показано, что параметры полученных ''комбинированных'' структур не уступают, и в некоторых случаях превосходят параметры диодов, изготовленные одним из указанных методов.
  1. J.W. Palmour, J.A. Edmond, H.S. Kong, C.H. Carter Jr. Physica B, 185, 461 (1993)
  2. M.M. Anikin, P.A. Ivanov, A.A. Lebedev, S.N. Pyatko, A.M. Strel'chuk. In: \it Semiconductor Interfaces and Microstructures, ed. by Z.C. Feng (World Scientific, Singapore, 1990) p. 280
  3. M.M. Anikin, P.A. Ivanov, A.A. Lebedev, S.N. Pyatko, A.M. Strel'chuk, A.L. Syrkin. Mater. Sci. Engin., B11, 113 (1992)
  4. И.В. Попов, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. Письма ЖТФ, 12, 240 (1985)
  5. А.А. Лебедев, А.Н. Андреев, А.А. Мальцев, М.Г. Растегаева, Н.С. Савкина, В.Е. Челноков. ФТП, 29, 1635 (1995)
  6. M. Ikeda, H. Matsunami, T. Tanaka. Phys. Rev. B, 22, 2842 (1980)
  7. В.И. Павличенко, И.В. Рыжиков, Ю.М. Сулейманов, Ю.М. Шейдак. ФТТ, 10, 2801 (1968)
  8. М.М. Аникин, Н.И. Кузнецов, А.А. Лебедев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин. ФТП, 24, 1384 (1990)
  9. А.Н. Андреев, М.М. Аникин, А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 28, 729 (1994)
  10. М.М. Аникин, Н.И. Кузнецов, А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 28, 443 (1994)
  11. J.A. Edmond, H.-S. Kong, C.H. Carter Jr. Physica B, 185, 4536 (1993)
  12. А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, М.Г. Растегаева, Н.С. Савкина. ФТП, 28, 1769 (1994)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.