"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Взаимосвязь между сигналом фотолюминесцеции и поверхностными состояниями пористого кремния, в том числе ''свободных'' пленок пористого кремния
Белогорохов А.И.1, Караванский В.А.2, Белогорохова Л.И.3
1Государственный институт редких металлов, Москва, Россия
2Институт общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
3Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 11 января 1995 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1996 г.

Исследовались спектральные зависимости фотолюминесценции и оптического инфракрасного поглощения в слоях на подложках и в свободных пленках пористого кремния от времени экспозиции и плотности тока анодирования. Для получения пористого кремния использовался монокристаллический кремний марки КЭС-0.01 с ориентацией (111). В процессе выращивания слоев пористого кремния в ряде случаев использовалась дополнительная подсветка образцов. Обсуждаются форма полос, ''тонкая'' структура, немонотонное поведение и значительная трансформация спектров оптического инфракрасного поглощения в зависимости от условий приготовления, а также из взаимосвязь с появлением сигнала фотолюминесценции в видимой области спектра. Резкая метаморфоза полос оптического поглощения на связях водород--кремний не обязательно приводит к появлению или исчезновению сигнала фотолюминесценции. Полученные люминесцирующие свободные пленки пористого кремния проявляют стабильные свойства.
  • L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  • R.P. Vasquez, R.W. Fathauer, T. George, A. Ksendzov, T.L. Lin. Appl. Phys. Lett., 60, 1004 (1992)
  • C. Tsai, K.-H. Li, J. Sarathy, S. Shih, J.C. Campbell. Appl. Phys. Lett., 59, 2814 (1991)
  • M.S. Brandt, H.D. Fuchs, M. Stutzmann, J. Weber, M. Cardona. Sol. St. Commun., 81, 307 (1992)
  • T. Ibo, H. Kamija, T. Yasumatsu, H. Watanabe, A. Hiraki. Physica B, 170, 535 (1991)
  • J.E. Olsen, E. Shimura. J. Appl. Phys., 66, 1353 (1989)
  • C. Tsai, K.-H. Li, D.S. Kinosky et al. Appl. Phys. Lett., 60, 1700 (1992)
  • V.A. Burrows, Y.J. Chabal, G.S. Higashi, K. Raghavachari, S.B. Christman. Appl. Phys. Lett., 53, 998 (1988)
  • Y. Nagasawa, H. Ishida. Sol. St. Electron., 33 (supplement), 129 (1990)
  • S. Watanabe, N. Nakajama, T. Ito. Appl. Phys. Lett., 59, 1458 (1991)
  • T. Takahagi, A. Ishitani, H. Kuroda, Y. Nagasawa, H. Ito, S. Wakas. J. Appl. Phys., 68, 2187 (1990)
  • L. Ling, S. Kuwabara, T. Abe, F. Shimura. J. Appl. Phys., 73, 3018 (1993)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.