Вышедшие номера
Введение акцепторных примесей при фотоядерном легировании арсенида галлия
Акулович Н.И.1, Быковский В.А.1, Карпович Л.М.1, Утенко В.И.1, Шох В.Ф.1, Петренко В.В.2
1Минский научно-исследовательский институт радиоматериалов, Минск, Республика Беларусь
2Институт атомной энергии им. И.В.Курчатова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 января 1996 г.

Исследовались электрофизические свойства и фотолюминесценция эпитаксиальных слоев GaAs, легированных примесями Se, Ge, Zn методом фотоядерных реакций при облучении тормозными gamma-квантами. Установлено, что отжиг радиационных дефектов, стабилизация электрофизических параметров и интенсивности рекомбинационного излучения происходят при T<= 500 oC. Показано, что в процессе фотоядерного легирования происходит компенсация арсенида галлия. Анализ спектров фотолюминесценции позволил обнаружить компенсирующие акцепторы Zn. Обсуждается участие остаточной технологической примеси C в процессах радиационного дефектообразования и радиационно стимулированной диффузии.