Вышедшие номера
Наблюдение атомарной структуры пассивированной в водородной ЭЦР плазме поверхности Si (111) с помощью сканирующего туннельного микроскопа на воздухе
Гуртовой В.Л.1, Дремов В.В.1, Макаренко В.А.1, Шаповал С.Ю.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 20 января 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.

Представлены результаты наблюдения с помощью сканирующей туннельной микроскопии на воздухе обработанной плазме поверхности Si(111). Показана возможность получения атомного разрешения. Наблюдалась структура поверхности Si(111)-1x 1 в течение нескольких часов без потери атомного разрешения, а также атомно-гладкие террасы и ступеньки с толщиной в один, два и четыре бислоя. Результаты свидетельствуют о высокой чистоте и стойкости к окислению пассированной с помощью плазменного процесса поверхности кремния.