Вышедшие номера
Дефектообразование в кремнии при протонном облучении
Мальханов С.Е.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1995 г.

Приводится расчет коэффициента диффузии положительно заряженной вакансии в слое объемного заряда n+-p-перехода p-кремния при протонном облучении (DV+=1.2·10-12 см2/с). Найдена локальная температура в этом слое во время облучения (T=1300oC) путем сравнения нашего результата с литературными данными. Предположено, что присутствие дефектов, обнаруженное нами ранее на глубине, вдвое большей, чем пробег протонов с энергией 100 КэВ в кремнии, происходит благодаря диффузии нейтральных вакансий на данную аномальную глубину.