Зависимость параметров центров, образующих глубокие уровни во фториде кальция, выращенном на кремнии, от режима молекулярно-лучевой эпитаксии
Альварес Х.1, Берман Л.С.1, Каримов И.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1995 г.
Фторид кальция CaF2 выращивался на кремнии методом молекулярно-лучевой эпитаксии при различных температурах. Исследовано влияние условий выращивания на параметры центров, образующих глубокие уровни в CaF2 и на границе раздела n-Si-CaF2. При выращивании двух первых монослоев при 770oC в CaF2 образуются центры с широким спектром постоянных времени перезарядки (до 10-20 ч), что является причиной гистерезиса вольт-фарадных характеристик. В образцах, у которых последующие монослои выращены при 400oC, эти центры перезаряжаются только после выдержки при напряжении, соответствующем обогащению приповерхностного слоя, в течение 2 ч. Отсутствие первых двух монослоев, выращенных при 770oC, приводит почти к полному исчезновению гистерезиса вольт-фарадных характеристик (при времени измерения порядка 100 с). Однако имеются центры, заполнение которых медленно (за десятки минут) изменяется при обогащении. При измерении вольт-фарадных характеристик такие центры, образующие глубокие уровни, проявляются как фиксированный заряд.
- L.J. Showalter, R.W. Fathauer. J. Vac. Sci. Technol. A, 4, 1026 (1986)
- F. Radpour, R. Singh, W.L. Kirsa, P. Chou, M. Rahmati, C.F. Chen, J. Narayan. J. Vac. Sci. Technol. A, 6, 1363 (1988)
- R.W. Farhhauer, L.J. Showakter. J. Electron. Mater., 16, 169 (1987)
- C.C. Cho, T.S. Kim, B.E. Gnade, H.Y. Liu. Appl. Phys. Lett., 60, 338 (1992)
- Х. Альварес, Л.С. Берман, В.А. Борович, И.В. Грехов, И.Н. Каримов, Н.С. Соколов. ФТП, 28, 346 (1994)
- Х. Альварес, Л.С. Берман, И.Н. Каримов. ФТП, 28, 1488 (1994)
- С.В. Гастев, С.В. Новиков, Н.С. Соколов, Н.Л. Яковлев. Письма ЖЭТФ, 13, 961 (1987)
- Л.С. Берман, А.Д. Ременюк, М.Г. Толстобров. Препринт N 974, ФТИ АН СССР (Л., 1985)
- C.N. Berglund. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-13,701 (1966)
- E.N. Nicollian, J.K. Brews. \it MOS (Metal--Oxide--Semiconductor). Physics and Technology (1982)
- A.P. Gorban, V.G. Litovchenko, P. Ch. Peikov. Phys. St. Sol. (\it a), 10, 289 (1972)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.