"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Явление поверхностной сегрегации основных компонентов твердого раствора A IIIB V и сегрегационный приповерхностный гетеропереход в GaAlAs
Бессолов В.Н.1, Лебедев М.В.1, Царенков Б.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.

Обнаружено явление твердофазной поверхностной сегрегации атомов основных компонентов твердого раствора AIIIBV при жидкостной эпитаксии на примере сегрегации Ga и Al в GaAlAs. Твердофазная поверхностная сегрегация заключается в перераспределении атомов основных компонентов твердого раствора при установлении термодинамического равновесия между объемом и поверхностью и возникает из-за неэквивалентности межатомных химических связей в объеме и у поверхности кристалла. Установлено, что поверхностная сегрегация наиболее ярко проявляется при условии, что скорость роста слоя существенно меньше скорости переноса атомов Ga и Al в твердой фазе. Показано, что в результате поверхностной сегрегации содержание AlAs в приповерхностной области оказывается меньшим, чем в объеме (возникает сегрегационный гетеропереход); при этом содержание AlAs в объеме гетероструктуры увеличивается при уменьшении скорости роста слоя, а содержание AlAs в приповерхностной области зависит от ориентации поверхности эпитаксиального слоя.
  1. \it Adsorption on metal surfaces: An integrated approach., ed. by E. Benard (Elsevier Sci. Pub., 1983) p. 44
  2. T.C. Chiang, R. Ludeke, D.E. Eastman. Phys. Rev. B, 25, 6518 (1982)
  3. J.M. Moison, C. Guille, F. Houzay, F. Barthe, M. Van Rompay. Phys. Rev. B, 40, 6149 (1989)
  4. J.M. Gerard, J.Y. Marzin. Phys. Rev. B, 45, 6313 (1992)
  5. K. Muraki, S. Fukatsu, Y. Shiraki, R. Ito. Appl. Phys. Lett., 61, 557 (1992)
  6. M. Ilg, K.H. Ploog. Phys. Rev. B, 48, 11512 (1993)
  7. В.Н. Бессолов, М.В. Лебедев. Письма в ЖТФ, 17, 17 (1991)
  8. А.А. Чернов. В кн.: \it Современная кристаллография (М., Наука, 1980) т. 3, с. 134
  9. T.E. Schlesinger, T. Kuech. Appl. Phys. Lett., 49, 519 (1986)
  10. T. Nishinaga, K. Mochizuki, H. Yoshinaga, C. Sasaoka, M. Washiyama. J. Cryst. Growth, 98, 98 (1989)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.