Вышедшие номера
Явление поверхностной сегрегации основных компонентов твердого раствора A IIIB V и сегрегационный приповерхностный гетеропереход в GaAlAs
Бессолов В.Н.1, Лебедев М.В.1, Царенков Б.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.

Обнаружено явление твердофазной поверхностной сегрегации атомов основных компонентов твердого раствора AIIIBV при жидкостной эпитаксии на примере сегрегации Ga и Al в GaAlAs. Твердофазная поверхностная сегрегация заключается в перераспределении атомов основных компонентов твердого раствора при установлении термодинамического равновесия между объемом и поверхностью и возникает из-за неэквивалентности межатомных химических связей в объеме и у поверхности кристалла. Установлено, что поверхностная сегрегация наиболее ярко проявляется при условии, что скорость роста слоя существенно меньше скорости переноса атомов Ga и Al в твердой фазе. Показано, что в результате поверхностной сегрегации содержание AlAs в приповерхностной области оказывается меньшим, чем в объеме (возникает сегрегационный гетеропереход); при этом содержание AlAs в объеме гетероструктуры увеличивается при уменьшении скорости роста слоя, а содержание AlAs в приповерхностной области зависит от ориентации поверхности эпитаксиального слоя.