Вышедшие номера
Условия получения, структура и свойства гидрированных пленок аморфного углерода
Лигачев В.А.1, Попов А.И.1, Стукач С.Н.1
1Московский энергетический институт (Технический университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 22 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.

Приведены результаты исследований гидрированных пленок углерода (C:H). Пленки получены методом высокочастотного ионно-плазменного распыления графитовой мишени в атмосфере газовой смеси аргон-водород. Результаты исследований оптических свойств в диапазоне энергий фотонов 1.3-6.0 эВ и электрических свойств в переменном поле с частотой 100 Гц-35 МГц интерпретировались на основе данных электронно-микроскопических исследований, показавших существенную неоднородность пленок. Предполагается, что формирование неоднородностей с различными характерными размерами обусловлено кинетикой поведения различных комплексов на поверхности растущих пленок. Сопоставляются результаты анализа компонентного состава пленок, полученные из оптических измерений и методом электронной микроскопии. Обнаружено, что изменение условий приготовления пленок C:H ведет к изменению соотношения в материале алмазоподобного, графитоподобного компонентов и ''соединительной ткани'' полимерного типа.
  1. H. Tsai, D.B. Bogy. J. Vac. Sci. Technol. A, 5, 3287 (1987)
  2. Л.И. Татаринова. \it Электронография аморфных веществ (М., Наука, 1972)
  3. А.А. Данченков, В.А. Лигачев, А.И. Попов. ФТП, \bf 27, 1233 (1993)
  4. А.С. Гороховатский, Г.А. Бородовский. \it Термоактивационная токовая спектроскопия высокоомных полупроводников и диэлектриков (М., Наука, 1991)
  5. А.В. Раков. \it Спектофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур (М., Сов. радио, 1975)
  6. Е.Н. Понарина. Автореф. канд. дис. (М., МГУ, 1992)
  7. I. Webman, H. Jortner, M.N. Coher. Phys. Rev. B, \bf 15, 5713 (1977)
  8. F.W. Smith. J. Appl. Phys., 55, 764 (1984)
  9. R.A. Roberts, W.C. Walker. Phys. Rev., 161, 730 (1967)
  10. E.T. Arakawa, M.W. William, T. Inagaki. J. Appl. Phys., \bf 48, 3176 (1977)
  11. L.R. Painter, E.T. Arakawa, M.W. William, J.C. Ashley. Rad. Res., \bf 83, 1 (1980)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.