"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Аморфный гидрированный карбид кремния, полученный магнетронным реактивным распылением
Рогачев Н.А.1, Кузнецов А.Н.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

Магнетронным реактивным распылением мишеней из кристаллического кремния, углерода и карбида кремния в атмосферах аргона, водорода, метана и силана получены пленки гидрированного аморфного карбида кремния различного состава. Установлены сходства и особенности пленок для трех типов мишеней. Пленки SiC:H стехиометрического состава для всех мишеней имеют близкие значения E optg и показателя преломления n, измеренного на lambda=0.633 мкм, - 2.1 эВ и 2.25 соответственно. В то же время данные ИК абсорбционной спектроскопии свидетельствуют о наличии существенных различий природы связей и структурных конфигураций слоев.
  1. R.S. Sussman, R. Ogden. Phil. Mag. B, 44, 137 (1981)
  2. H. Rubel, B. Schroder, W. Fuhs, J. Krauskorf, T. Rupp, K. Bethge. Phys. St. Sol. B, \bf 131, 131 (1987)
  3. H. Wieder, M. Cardona, C.R. Guarnieri. Phys. St. Sol. B, \bf 92, 99 (1979)
  4. K. Hoshikawa, H. Konda, K. Ikuta. Japan. J. Appl. Phys., \bf 20, 241 (1981)
  5. R.C. Newman. \it Infrared Studies of Crystal Defects (London, Taylor and Francis, 1973)
  6. F.A. Cotton, G. Wilkinson. \it Advanced Inorganic Chemistry (N.Y., Wiley, 1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.