Анализ инфракрасных спектров сплавов a-SiNr:H с использованием индукционной модели
Будагян Б.Г.1, Айвазов А.А.1, Стряхилев Д.А.1, Кудоярова-=SUP=-*-=/SUP=- В.Х.1
1Московский государственный институт электронной техники,, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 24 ноября 1993 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1994 г.
Измерены спектры ИК поглощения образцов a-SiNr:H, полученных разложением газовой смеси (10%SiH4+90%H2)+NH3 в плазме тлеющего разряда. Рассмотрено влияние состава и локального окружения на силу осциллятора полос, обусловленных колебаниями растяжения связей Si-H и Si-N. При помощи индукционной модели построены зависимости частоты колебаний растяжения связи Si-H от состава для различных вариантов локального окружения. Разложение полосы, соответствующей моде растяжения Si-H, на пики и сопоставление их частот с расчетными значениями позволяют обнаружить неоднородности состава в a-SiNr:H.
- T. Shimizu, H. Kidoh, A. Moromoto, M. Kumeda. Japan. J. Appl. Phys., \bf 28, 586 (1989)
- N. Kniffler, B. Shroeder, J. Geyger. J. Non-Cryst. Sol. \bf 58, 153 (1983)
- G. Lucovsky, R.J. Nemanich, J.C. Knights. Phys. Rev. B, \bf 19, 2064 (1979)
- G. Lucovsky, J. Yang, S.S. Chao, J.E. Tyler, W. Czubatyj. Phys. Rev. B, \bf 28, 3234 (1983)
- D. Della Sala, C. Coluzza, G. Fortunato, F. Evangelisti. J. Non-Cryst. Sol., \bf 77/78, 933 (1985)
- J.W. Osenbach, W.R. Knolle. J. Appl. Phys., 60, 1408 (1986)
- D.V. Tsu, G. Lucovsky. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, 839 (1987)
- D.V. Tsu, G. Lucovsky. J. Non-Cryst. Sol., 114, 501 (1989)
- I. Umezu, K. Maeda. Japan. J. Appl. Phys., 30, 2547 (1991)
- D.V. Tsu, G. Lucovsky, B.N. Davidson. Phys. Rev. B, \bf 40, 1795 (1989)
- H. Shanks, C.J. Fang, L. Ley, M. Cardona, F.J. Demond, R. Kabbitzer. Phys. St. Sol., \bf 100, 43 (1980)
- Л.А. Балагуров, И.М. Заритский, Н.Ю. Карпова, А.Ф. Орлов, Е.М. Омельяновский. ФТТ, \bf 31, вып. 10, 237 (1989)
- A.A. Aivazov, B.G. Budaguan, A.Yu. Sazonov, D.A. Stryahilev. J. Non-Cryst. Sol., \bf 146, 190 (1992)
- M. Сardona. Phys. St. Sol. (b), 118, 463 (1983)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук