"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Анализ инфракрасных спектров сплавов a-SiNr:H с использованием индукционной модели
Будагян Б.Г.1, Айвазов А.А.1, Стряхилев Д.А.1, Кудоярова-=SUP=-*-=/SUP=- В.Х.1
1Московский государственный институт электронной техники,, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 24 ноября 1993 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1994 г.

Измерены спектры ИК поглощения образцов a-SiNr:H, полученных разложением газовой смеси (10%SiH4+90%H2)+NH3 в плазме тлеющего разряда. Рассмотрено влияние состава и локального окружения на силу осциллятора полос, обусловленных колебаниями растяжения связей Si-H и Si-N. При помощи индукционной модели построены зависимости частоты колебаний растяжения связи Si-H от состава для различных вариантов локального окружения. Разложение полосы, соответствующей моде растяжения Si-H, на пики и сопоставление их частот с расчетными значениями позволяют обнаружить неоднородности состава в a-SiNr:H.
  1. T. Shimizu, H. Kidoh, A. Moromoto, M. Kumeda. Japan. J. Appl. Phys., \bf 28, 586 (1989)
  2. N. Kniffler, B. Shroeder, J. Geyger. J. Non-Cryst. Sol. \bf 58, 153 (1983)
  3. G. Lucovsky, R.J. Nemanich, J.C. Knights. Phys. Rev. B, \bf 19, 2064 (1979)
  4. G. Lucovsky, J. Yang, S.S. Chao, J.E. Tyler, W. Czubatyj. Phys. Rev. B, \bf 28, 3234 (1983)
  5. D. Della Sala, C. Coluzza, G. Fortunato, F. Evangelisti. J. Non-Cryst. Sol., \bf 77/78, 933 (1985)
  6. J.W. Osenbach, W.R. Knolle. J. Appl. Phys., 60, 1408 (1986)
  7. D.V. Tsu, G. Lucovsky. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, 839 (1987)
  8. D.V. Tsu, G. Lucovsky. J. Non-Cryst. Sol., 114, 501 (1989)
  9. I. Umezu, K. Maeda. Japan. J. Appl. Phys., 30, 2547 (1991)
  10. D.V. Tsu, G. Lucovsky, B.N. Davidson. Phys. Rev. B, \bf 40, 1795 (1989)
  11. H. Shanks, C.J. Fang, L. Ley, M. Cardona, F.J. Demond, R. Kabbitzer. Phys. St. Sol., \bf 100, 43 (1980)
  12. Л.А. Балагуров, И.М. Заритский, Н.Ю. Карпова, А.Ф. Орлов, Е.М. Омельяновский. ФТТ, \bf 31, вып. 10, 237 (1989)
  13. A.A. Aivazov, B.G. Budaguan, A.Yu. Sazonov, D.A. Stryahilev. J. Non-Cryst. Sol., \bf 146, 190 (1992)
  14. M. Сardona. Phys. St. Sol. (b), 118, 463 (1983)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.