Вышедшие номера
Новый бистабильный дефект с глубокими уровнями в AlxGa 1-xAs, легированном Si
Соболев М.М.1, Кочнев И.В.1, Папенцев М.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 октября 1993 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.

Сообщается, что в эпитаксиальном n-слое Al0.3Ga0.7As, выращенном МОС-гидридным методом, обнаружен новый бистабильный дефект, несвязанный с DX-центром. Исследования производили C-V и DLTS-методами на AU-барьере Шоттки, с предварительным изохронным и изотермическим отжигом при двух условиях охлаждения - с приложенным напряжением обратного смещения U0=0 и с U0< 0. Стабильное состояние бистабильного дефекта с энергией термической активации E1=Ec-165 мэВ и сечением захвата электронов sigman=1.07· 10-13 см-2 наблюдается при условии изохронного отжига U0=0. Этот уровень близок по параметрам к E1 уровню, который образуется при радиационном облучении Al0.3Ga0.7As и связывается с дефектом V As. При изохронном отжиге с U0< 0 наблюдается метастабильный уровень бистабильного дефекта с E2=Ec-208 мэВ и sigman=2.54· 10-14 см2. Исследования показывают, что кинетика трансформации дефекта E1-> E2, 1-го порядка и обусловлена двумя ловушками E2 и E2* с различными темпами отжига. Сделано предположение, что этот дефект представляет собой комплекс, состоящий из вакансии мышьяка и примеси.