"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Рекристаллизация с границы раздела кремний-сапфир как новый метод получения структурно совершенных пленок кремния на сапфировой подложке
Александров П.А.1, Демаков К.Д.1, Шемардов С.Г.1, Кузнецов Ю.Ю.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 1 марта 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

Использование процесса твердофазной рекристаллизации в значительной степени уменьшает количество дефектов в кремниевом слое. Аморфный слой создавался имплантацией ионов кремния. Кристаллическое качество КНС-структур оценивалось методом высокоразрешающей двухкристальной рентгеновской дифракции. Высококачественные кремниевые слои с толщиной d=1000-2500 Angstrem получались после имплантации ионов кремния (с энергией 150 кэВ) и последующего высокотемпературного отжига.
  1. K. Tanno, M. Kanamori. J. Cryst. Growth, 58, 73 (1982)
  2. H.Y. Cho, C.J. Park. Physica E, 16, 489 (2003)
  3. П.А. Александров, К.Д. Демаков, С.Г. Шемардов, Ю.Ю. Кузнецов. Нано- и микросистемная техника, 9, 30 (2009)
  4. S.S. Lau, J.W. Mayer, T.W. Sigmon. USA Patent, No 4 177 084 (1979)
  5. I. Golecki. USA Patent No 4 588 447 (1986)
  6. R.E. Reedy, T.W. Sigmon, L.A. Christel. Appl. Phys. Lett., 42(8), 707 (1983)
  7. T. Inoue, T. Yoshii. Nucl. Instrum. Meth., 182/183, 683 (1981)
  8. T. Nakamura, Y. Nagatomo. Oki Techn. Rev., 74(4), 66 (2004)
  9. П.А. Александров, К.Д. Демаков, С.Г. Шемардов, Ю.Ю. Кузнецов. Нано- и микросистемная техника, 3, 54 (2008)
  10. П.А. Александров, К.Д. Демаков, С.Г. Шемардов, Ю.Ю. Кузнецов. ФТП, 43(5), 627 (2009)
  11. M.L. Burgener, R.E. Reedy. USA Patent, No 5 416 043 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.