"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование безызлучательной рекомбинации в кремниевых светодиодах с краевой люминесценцией методом наведенного тока (EBIC)
Якимов Е.Б.1, Соболев Н.А.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2010 г.

Кремниевые светодиодные структуры с краевой люминесценцией исследованы методом наведенного тока. Структуры были изготовлены методом ионной имплантации и отличались температурой заключительной стадии постимплантационного отжига (950 и 1000oC). Увеличение температуры отжига сопровождается увеличением диффузионной длины неосновных носителей заряда в области светодиода, где и имеет место краевая люминесценция, от 1-2 до 25-35 мкм и уменьшением неоднородности распределения центров безызлучательной рекомбинации в этой области в латеральном направлении, параллельном плоскости p-n-перехода, что и приводит к наблюдавшемуся существенному росту интенсивности краевой люминесценции.
  1. L. Pavesi. J. Phys.: Condens. Matter, 15, R1169 (2003)
  2. A.J. Kenyon. Sem. Sci. Technol., 20, R65 (2005)
  3. M.A. Green, J. Zhao, A. Wang, P.J. Reece, M. Gal. Nature, 412, 805 (2001)
  4. Wai Lek Ng, M.A. Lourenco, R.M. Gwilliam, S. Ledain, G. Shao, K.P. Homemood. Nature, 410, 192 (2001)
  5. Th. Dittrich, V.Yu. Timoshenko, J. Rappich, L. Tsybeskov. J. Appl. Phys., 90, 2310 (2001)
  6. А.М. Емельянов, Н.А. Соболев, Е.И. Шек. ФТТ, 46, 44 (2004)
  7. N.A. Sobolev. In: Advances in Light Emitting Materials, ed. by H.G. Grimmeiss, B. Monemar, and M. Kittler (Trans. Tech., Switzerland, 2008) [Mater. Sci. Forum, 590, 79 (2008)]
  8. Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Ю.А. Николаев. ФТП, 35, 1224 (2001)
  9. H.J. Leamy. J. Appl. Phys., 53, R51 (1982)
  10. Е.Б. Якимов. Изв. РАН. Сер. физ., 56 (3), 31 (1992)
  11. Е.Б. Якимов. Завод. лаб., 68 (1), 63 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.