Исследование безызлучательной рекомбинации в кремниевых светодиодах с краевой люминесценцией методом наведенного тока (EBIC)
Якимов Е.Б.1, Соболев Н.А.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2010 г.
Кремниевые светодиодные структуры с краевой люминесценцией исследованы методом наведенного тока. Структуры были изготовлены методом ионной имплантации и отличались температурой заключительной стадии постимплантационного отжига (950 и 1000oC). Увеличение температуры отжига сопровождается увеличением диффузионной длины неосновных носителей заряда в области светодиода, где и имеет место краевая люминесценция, от 1-2 до 25-35 мкм и уменьшением неоднородности распределения центров безызлучательной рекомбинации в этой области в латеральном направлении, параллельном плоскости p-n-перехода, что и приводит к наблюдавшемуся существенному росту интенсивности краевой люминесценции.
- L. Pavesi. J. Phys.: Condens. Matter, 15, R1169 (2003)
- A.J. Kenyon. Sem. Sci. Technol., 20, R65 (2005)
- M.A. Green, J. Zhao, A. Wang, P.J. Reece, M. Gal. Nature, 412, 805 (2001)
- Wai Lek Ng, M.A. Lourenco, R.M. Gwilliam, S. Ledain, G. Shao, K.P. Homemood. Nature, 410, 192 (2001)
- Th. Dittrich, V.Yu. Timoshenko, J. Rappich, L. Tsybeskov. J. Appl. Phys., 90, 2310 (2001)
- А.М. Емельянов, Н.А. Соболев, Е.И. Шек. ФТТ, 46, 44 (2004)
- N.A. Sobolev. In: Advances in Light Emitting Materials, ed. by H.G. Grimmeiss, B. Monemar, and M. Kittler (Trans. Tech., Switzerland, 2008) [Mater. Sci. Forum, 590, 79 (2008)]
- Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Ю.А. Николаев. ФТП, 35, 1224 (2001)
- H.J. Leamy. J. Appl. Phys., 53, R51 (1982)
- Е.Б. Якимов. Изв. РАН. Сер. физ., 56 (3), 31 (1992)
- Е.Б. Якимов. Завод. лаб., 68 (1), 63 (2002)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.