Вышедшие номера
Исследование безызлучательной рекомбинации в кремниевых светодиодах с краевой люминесценцией методом наведенного тока (EBIC)
Якимов Е.Б.1, Соболев Н.А.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2010 г.

Кремниевые светодиодные структуры с краевой люминесценцией исследованы методом наведенного тока. Структуры были изготовлены методом ионной имплантации и отличались температурой заключительной стадии постимплантационного отжига (950 и 1000oC). Увеличение температуры отжига сопровождается увеличением диффузионной длины неосновных носителей заряда в области светодиода, где и имеет место краевая люминесценция, от 1-2 до 25-35 мкм и уменьшением неоднородности распределения центров безызлучательной рекомбинации в этой области в латеральном направлении, параллельном плоскости p-n-перехода, что и приводит к наблюдавшемуся существенному росту интенсивности краевой люминесценции.