Экспериментальные диоды Шоттки-(p-n) (JBS-диоды) на основе 4H-SiC
Иванов П.А.1, Грехов И.В.1, Потапов А.С.1, Ильинская Н.Д.1, Самсонова Т.П.1, Коньков О.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 февраля 2009 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2009 г.
Изготовлены интегрированные диоды Шоттки-(p-n) (JBS-диоды) на основе 4H-SiC, в которых локальные p-n-переходы под контактом Шоттки сформированы с помощью неравновесной диффузии бора. Статические и динамические характеристики изготовленных JBS-диодов сравниваются с характеристиками аналогичных диодов Шоттки на 4H-SiC. Показано, что по сравнению с обычными диодами Шоттки токи утечки в JBS-диодах при одном и том же обратном напряжении уменьшаются в среднем в 200 раз. Заряд обратного восстановления для обоих типов диодов одинаков и равен заряду основных носителей, выносимых из базовой n-области при переключении. PACS: 73.40.Lq, 73.40.Ns, 85.30.De, 85.30.Hi, 85.30.Kk
- R. Held, N. Kaminski, E. Niemann. Mater. Sci. Forum, 264-268, 1057 (1998)
- F. Dahlquist, C.M. Zetterling, M. Ostling, K. Rottner. Mater. Sci. Forum, 264-268, 1061 (1998)
- K. Tone, J.H. Zhao, M. Weiner, M. Pan. Semicond. Sci. Technol., 16, 594 (2001)
- R. Perez, N. Mestres, M. Vellvehi, P. Godignon, J. Millan. Semicond. Sci. Technol., 21, 670 (2006)
- И.В. Грехов, П.А. Иванов, Н.Д. Ильинская, О.И. Коньков, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова. ФТП, 42, 211 (2008)
- П.А. Иванов, И.В. Грехов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова, А.С. Потапов. ФТП, 43, 527 (2009)
- А.С. Потапов, П.А. Иванов, Т.П. Самсонова. ФТП, 43, 640 (2009)
- П.А. Иванов, И.В. Грехов, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова. ФТП, 42, 878 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.