Вышедшие номера
Фрактальный характер распределения неоднородностей потенциала поверхности n-GaAs(100)
Торхов Н.А.1, Божков В.Г.1
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 7 августа 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.

С использованием метода Кельвина атомно-силовой микроскопии исследовалась фрактальная геометрия потенциального рельефа поверхности высоколегированной подложки n+-GaAs(100). Средние значения фрактальных размерностей Df потенциального рельефа, определенных методом триангуляции, методом горизонтальных сечений Dc и методом подобия Ds, достаточно близки друг к другу, что указывает на единую природу формирования фрактального рельефа потенциала поверхности. В целом полученные значения фрактальных размерностей говорят о том, что относительное расположение локальных неоднородностей потенциального рельефа высоколегированной подложки n+-GaAs(100) после химико-динамической полировки аналогично узору известной фрактальной кривой под названием "салфетка Серпинского". Было получено, что изменение фрактальных неоднородностей потенциала происходит не пропорционально квадрату изменения линейных размеров исследуемых участков, как в двумерном случае, а значительно медленнее - пропорционально изменению их линейных размеров в степени 2/Dc, где 1<Dc<2. PACS: 61.43.Hv, 63.35.Ct, 68.35.B-, 68.37.Ps, 68.47.Fg
  1. В.Г. Божков, Н.А. Торхов, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 42 (5), 546 (2008)
  2. В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Ин-т физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 2004) с. 111
  3. Н.М. Коровкина. Автореф. канд. дис. (СПб гос. электротехн. ун-т им. В.И. Ульянова (Ленина), 2006 )
  4. www.ntmdt.com
  5. В.Л. Бонч-Бруевич, С.Г. Калашников. Физика полупроовдников. Уч. пособие для вузов. 2-е изд., перераб. и доп. (М., Наука, 1990)
  6. Б.Б. Мандельброт. Фрактальная геометрия природы (М., Ин-т компьютерных исследований, 2002) с. 656
  7. F. Family, T. Vicsek. Dynamics of Fractal Surfaces (World Scientific, Singapore, 1991) c. 376
  8. Е. Федер. Фракталы (М., Мир, 1991)
  9. B.B. Mandelbrot. In: Statistical Models and Turbulence, ed. by M. Rosenblatt, C. Van Atta. Lectuire Notes in Physics, 12 (Springer, N. Y., 1972) p. 333
  10. B.B. Mandelbrot. J. Fluid Mech., 62, 331 (1974)
  11. А.В. Панин, А.Р. Шугуров. Поверхность, 6, 64 (2003)
  12. А.Д. Морозов. Введение в теорию фракталов (М.--Ижевск, НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2001) с. 128
  13. П.А. Арутюнов, А.Л. Толстихина, В.Н. Демидов. Завод. лаб., 65 (9), 27 (1999)
  14. S.M. Sze. Modern Semiconductor Device Physics (John Wiley \& Sons Inc, 1997)
  15. P. Bak. Phys. Today, 39, 38 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.