Исследованы особенности формирования макропор в n-Si с щелевыми затравками на поверхности. Установлено, что линейные центры нуклеации, в отличие от точечных, формируют наполовину упорядоченную решетку пор: вдоль щелей поры зарождаются случайным образом в процессе самоорганизации, поперек щелей - следуют заданному периоду a. Среднее расстояние между порами вдоль щелевой линии зависит от a, уменьшаясь при его возрастании. Выбирая оптимальные значения a и плотности фототока травления, можно добиться слияния отдельных пор в единую канавку и получить периодическую структуру щелей с глубокими вертикальными стенками. Рассмотрены некоторые аспекты взаимодействия пор между собой для разного поверхностного рельефа и формирование зон, свободных от зарождения пор. PACS: 82.45.Vp, 81.05.Rm, 82.47.-a, 82.45.Fk, 82.47.Gh

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.