"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Спектрометрические свойства SiC-детекторов на основе ионно-легированных p+-n-переходов
Калинина Е.В.1, Коссов В.Г.2, Строкан Н.Б.1, Иванов А.М.1, Яфаев Р.Р.2, Холуянов Г.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Электрон Оптроник, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 декабря 2005 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.

Впервые представлены результаты исследований, выполненных в спектрометрическом режиме, детекторов ядерных излучений, изготовленных на основе p+-n-переходов, сформированных в пленках 4H-SiC. Переходы создавались ионным легированием алюминием эпитаксиальных слоев 4H-SiC толщиной 26 мкм, выращенных методом газофазной эпитаксии с концентрацией нескомпенсированных доноров (3-5)·1015 см-3. Характеристики детекторов определялись при тестировании alpha-частицами естественного распада с энергиями 3.35 и 5.4 МэВ. Эффективность собирания заряда, созданного alpha-частицами с энергией 3.35 МэВ, достигала 100%, при этом разрешение по энергии составляло =<sssim2%. PACS: 85.30.De, 85.30.Kk, 72.70.+m, 29.40.Wk.
  1. И.М. Розман, К.Г. Циммер. Атом. энергия, 1, 54 (1957)
  2. L.W. Aukerman, H.C. Gorton, R.K. Willardson, V.E. Bryson. Silicon Carbide, ed. by J.R. O'Connor, J. Smiltens (Pergamon, Oxford, 1959)
  3. P.C. Capera, P. Malinaric, R.B. Campbell, J. Ostroski. IEEE Trans. Nucl. Sci. June, 262 (1964)
  4. В.Д. Безуглый, Л.Л. Нагорная. Атом. энергия, 17, 67 (1964)
  5. Г.Ф. Холуянов, Б.В. Гавриловский. ФТП, 2 (4), 573 (1968)
  6. А.М. Иванов, Е.В. Калинина, А.О. Константинов, Г.А. Онушкин, Н.Б. Строкан, Г.Ф. Холуянов, A. Hallen. Письма ЖТФ, 30 (14), 1 (2004)
  7. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, Д.В. Давыдов, Г.Н. Виолина. ФТП, 39 (3), 382 (2005)
  8. В.А. Тихомирова, О.П. Федосеева, Г.Ф. Холуянов. Атом. энергия, 34, 122 (1973)
  9. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, М.Е. Бойко, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук, А.А. Лебедев, Р. Якимова. ФТП, 39 (3), 65 (2003)
  10. E. Kalinina, G. Kholujanov, V. Solov'ev, A. Strel'chuk, A. Zubrilov, V. Kossov, R. Yafaev, A.P. Kovarski, A. Hallen, A. Konstantinov, S. Karlsson, C. Ad s, S. Rendakova, V. Dmitriev. Appl. Phys. Lett., 77 (19), 3051 (2000)
  11. F. Moscatelli, A. Scorzoni, A. Poggi, Mara Bruzzi, S. Lagomarsino, S. Mersi, S. Sciortino, M. Lazar, A. Di Plasido, R. Nipoti. Mater. Sci. Forum, 483--485, 1021 (2005)
  12. Г.Н. Виолина, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, В.Г. Косов, Р.Р. Яфаев, А. Халлен, А.О. Константинов. ФТП, 36 (6), 750 (2002)
  13. A. Ivanov, E. Kalinina, G. Kholuyanov, N. Strokan, G. Onushkin, A. Konstantinov, A. Hallen, A. Kuznetsov. Mater. Sci. Forum, 438--485, 1029 (2005)
  14. Ion Implantation. Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Acad. Press. Inc., 1985)
  15. E. Kalinina, G. Kholujanov, A. Sitnikova, V. Kossov, R. Yafaev, G. Pensl, S. Reshanov, A. Hallen, A. Konstantinov. Mater. Sci. Forum, 433--436, 637 (2003)
  16. Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 24 (5), 44 (1998).
  17. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, А.А. Лебедев, M. Syvajarvi, R. Yakimova. ФТП, 39 (12), 1443 (2005)
  18. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан. ЖТФ, 70, 139 (2000)
  19. А.М. Стрельчук. ФТП, 29 (7), 614 (1995).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.