Вышедшие номера
Спектрометрические свойства SiC-детекторов на основе ионно-легированных p+-n-переходов
Калинина Е.В.1, Коссов В.Г.2, Строкан Н.Б.1, Иванов А.М.1, Яфаев Р.Р.2, Холуянов Г.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Электрон Оптроник, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 декабря 2005 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.

Впервые представлены результаты исследований, выполненных в спектрометрическом режиме, детекторов ядерных излучений, изготовленных на основе p+-n-переходов, сформированных в пленках 4H-SiC. Переходы создавались ионным легированием алюминием эпитаксиальных слоев 4H-SiC толщиной 26 мкм, выращенных методом газофазной эпитаксии с концентрацией нескомпенсированных доноров (3-5)·1015 см-3. Характеристики детекторов определялись при тестировании alpha-частицами естественного распада с энергиями 3.35 и 5.4 МэВ. Эффективность собирания заряда, созданного alpha-частицами с энергией 3.35 МэВ, достигала 100%, при этом разрешение по энергии составляло =<sssim2%. PACS: 85.30.De, 85.30.Kk, 72.70.+m, 29.40.Wk.