"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности нейтронного легирования фосфором кристаллов кремния, обогащенных изотопом 30Si: исследования методом электронного парамагнитного резонанса
Баранов П.Г.1, Бер Б.Я.1, Годисов О.Н.2, Ильин И.В.1, Ионов А.Н.1, Калитеевский А.К.2, Калитеевский М.А.1, Лазебник И.М.3, Сафронов А.Ю.2, Пол Х.-Дж.4, Риманн Х.5, Абросимов Н.В.5, Копьев П.С.1, Буланов А.Д.6, Гусев А.В.6
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2НТЦ-Центротех, Санкт-Петербург, Россия
3Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
4VITCON Projectconsult Gmbh, Jena, Germany
5Leibniz Institute for Crystal Growth, Berlin, Germany
6Институт химии высокочистых веществ Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 16 ноября 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2006 г.

Исследовано нейтронное трансмутационное легирование кристаллов кремния, обогащенных изотопом 30Si, методом электронного парамагнитного резонанса: наблюдались доноры фосфора и возникающие в процессе нейтронного легирования радиационные дефекты. Исследованы сигналы ЭПР неконтролируемой примеси фосфора в 30Si до нейтронного легирования (концентрация ~1015 см-3) и фосфора, введенного легированием с дозами ~1·1019 см-2 и ~1·1020 см-2 (концентрации P~5·1016 см-3 и ~7·1017 см-3 соответственно). Благодаря резкому сужению линий ЭПР фосфора в 30Si интенсивность сигналов существенно увеличилась, что позволило контролировать фосфор в образцах с малым объемом (до 10-6 мм-3). Разработаны методы контроля концентрации доноров P по сверхтонкой структуре в спектрах ЭПР изолированных атомов P, обменно-связанных пар, троек, четверок и более крупных кластеров доноров P. В области высоких концентраций P, когда сверхтонкая структура исчезает, концентрация доноров P оценивалась по ширине обменно-суженной линии ЭПР. PACS: 81.40.Wx, 61.80.Hg, 61.82.Fk, 76.30.Da
  1. J.W. Cleland, K. Lark-Horovitz, J.C. Pigg. Phys. Rev., 78, 814 (1950)
  2. H. Fritzsche, M. Cuevas. Phys. Rev., 119, 1238 (1960)
  3. J.M. Meese (ed). Neutron Transmutation Doping in Semiconductors. (N.Y., Plenum, 1979)
  4. A.A. Berezin. J. Phys. Chem. Sol., 50, 5 (1989)
  5. E.E. Haller. Sol. St. Phenomena, 32--33, 11 (1993) Scitec Publications, Switzerland
  6. I. Shlimak, A.N. Ionov, R. Rentzsch, J.M. Lazebnik. Semicond. Sci. Technol., 11, 1826 (1996)
  7. E.V. Haas, M.S. Schnoller. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-23, 803 (1976)
  8. Table of Isotopes. C.M. Lederer, V.S. Shirley (eds.), 7th edition (John Willey \& Sons, Inc., N.Y., 1978)
  9. G.D. Watkins. In: Point Defects in Solids, v. 2, ed. by J.H. Crowford, L.M. Slifkin (Plenum Press. N.Y.--London, 1975) p. 333; G.D. Watkins. In: Deep Centers in Semiconductors, ed. by S.T. Pantelides (Gordon and Breach, N.Y., 1986) p. 147
  10. G. Feher. Phys. Rev., 114, 1219 (1959)
  11. D.K. Wilson. Phys. Rev., 134, A265 (1964)
  12. G. Feher, J.C. Hensel, E.A. Gere. Phys. Rev. Lett., 5, 309 (1960)
  13. П.Г. Баранов, А.Н. Ионов, И.В. Ильин, П.С. Копьев, Е.Н. Мохов, В.А. Храмцов. ФТТ, 45, 984 (2003)
  14. О.Н. Годисов, А.К. Калитеевский, В.И. Королев, Б.Я. Бер, В. Давыдов, М.А. Калитеевский, П.С. Копьев. ФТП, 35, 913 (2001)
  15. П.Г. Баранов, Б.Я. Бер, О.Н. Годисов, И.В. Ильин, А.Н. Ионов, Е.Н. Мохов, М.В. Музафарова, А.К. Калитеевский, М.А. Калитеевский, П.С. Копьев. ФТТ, 47 (12), 2127 (2005)
  16. G. Feher, E.A. Gere. Phys. Rev., 114, 1245 (1959)
  17. W. Kohn, J.M. Luttinger. Phys. Rev., 97, 1721 (1955); Phys. Rev., 98, 915 (1955)
  18. R.C. Fletcher, W.A. Yager, G.L. Pearson, F.R. Merritt. Phys. Rev., 95, 844 (1954)
  19. G. Feher, R.C. Fletcher, E.A. Gere. Phys. Rev., 100, 1784 (1955)
  20. C.P. Slichter. Phys. Rev., 99, 479 (1955)
  21. D. Jerome, J.M. Winter. Phys. Rev., 134, A1001 (1964)
  22. Б.Г. Журкин, Н.А. Пенин. ФТТ, 6, 1141 (1964). [B.G. Zhurkin, N.A. Penin. Sov. Phys. Sol. St., 6, 879 (1964)]
  23. S. Maekawa, N. Kmoshita. J. Phys. Soc. Japan, 20, 1447 (1965)
  24. E. Sonder, H.C. Schweinler. Phys. Rev., 117, 1216 (1960)
  25. В.Г. Грачев. ЖЭТФ, 92, 1834 (1987). [Sov. Phys. JETP, 65, 1029 (1987)]
  26. P.H. Anderson, P.R. Weiss. Rev. Mod. Phys., 25, 269 (1953)
  27. A. Miller, E. Abrahams. Phys. Rev., 120, 745 (1960).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.