Влияние свойств структурированной поверхности подложки на морфологию планарных нанопроволок GaAs (моделирование Монте-Карло)
Манцурова C.В.1,2, Спирина А.А.1, Шварц Н.Л.1,2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Email: snezhana@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 5 декабря 2024 г.
В окончательной редакции: 6 декабря 2024 г.
Принята к печати: 6 декабря 2024 г.
Выставление онлайн: 7 января 2025 г.
Исследовано моделирование методом Монте-Карло самокаталитического роста планарных нанопроволок GaAs по механизму пар-жидкость-кристалл на подложках GaAs, покрытых структурированной пленкой-маской. Под структурированной пленкой-маской подразумевается слой со свойствами оксида кремния с заранее заданной геометрией в виде канавок разной глубины, ширины и скважности. Проведен анализ влияния свойств структурированной пленки-маски на характер роста и морфологию планарных нанопроволок GaAs. Выявлен диапазон интенсивностей потоков галлия и мышьяка, в котором наблюдался стабильный рост планарных нанопроволок GaAs. Найдены условия перехода от роста по механизму пар-жидкость-кристалл к росту планарной нанопроволоки без капли, что позволяет получить бездефектные нанопроволоки по всей длине канавки. Ключевые слова: планарные нанопроволоки, GaAs, структурированная поверхность, моделирование, Монте-Карло.
- Y. Sun, T. Dong, L. Yu, J. Xu, K. Chen. Adv. Mater., 32 (27), 1903945 (2020)
- S.A. Fortuna, J. Wen, I.S. Chun, X. Li. Nano Lett., 8 (12), 4421 (2008)
- S.A. Fortuna, X.Li. IEEE Electron Dev. Lett., 30 (6), 593 (2009)
- C. Zhang, X. Li. Solid State Electron., 93, 40 (2014)
- X. Miao, C. Zhang, X. Li. Nano Lett., 13 (6), 2548 (2013)
- B.R. Borodin, P.A. Alekseev, V. Khayrudinov, E. Ubyivovk, Y. Berdnikov, N. Sibirev, H. Lipsanen. Cryst. Eng. Commun., 25 (9), 1374 (2023)
- E. Oksenberg, S. Marti-Saanchez, R. Popovitz-Biro, J. Arbiol, E. Joselevich. ACS Nano, 11 (6), 6155 (2017)
- P. Aseev, A. Fursina, F. Boekhout, F. Krizek, J.E. Sestoft, F. Borsoi, S. Heedt, G. Wang, L. Binci, S. Marti-Sanchez, T. Swoboda, R. Koops, E. Uccelli, J. Arbiol, P. Krogstrup, L.P. Kouwenhoven, P. Caroff. Nano Lett., 19 (1), 218 (2019)
- S. Breuer, C. Pfuller, T. Flissikowski, O. Brandt, H. T. Grahn, L. Geelhaar, H. Riechert. Nano Lett., 11 (3), 1276 (2011)
- A. Fontcuberta i Morral, C. Colombo, G. Abstreiter, J. Arbiol, J.R. Morante. Appl. Phys. Lett., 92 (6), 063112 (2008)
- F. Bastiman, H. Kupers, C. Somaschini, L. Geelhaar. Nanotechnology, 27 (9), 095601 (2016)
- R.S. Dowdy, D.A. Walko, X.Li. Nanotechnology, 24 (3), 035304 (2013)
- A.A. Spirina, N.L. Shwartz. J. Cryst. Growth, 632, 127631 (2024)
- R.Ben-Zvi, H. Burrows, M. Schvartzman, O. Bitton, I. Pinkas, I. Kaplan-Ashiri, O. Brontvein, E. Joselevich. ACS Nano, 13 (5), 5572 (2019)
- Y. Berdnikov, N. Sibirev, V. Khayrudinov, A. Alaferdov, S. Moshkalev, E. Ubyivovk, H. Lipsanen, A. Bouravleuv. CrystEngComm, 21 (41), 6165 (2019)
- F. Matteini, G. Tutuncuoglu, H. Potts, F. Jabeen, A. Fontcuberta i Morral. Cryst. Growth Des., 15 (7), 3105 (2015)
- F. Matteini, G. Tutuncuoglu, D. Mikulik, J. Vukajlovic-Plestina, H. Potts, J.B. Leran, W.C. Carter, A. Fontcuberta i Morral. Crys. Growth Des., 16 (10), 5781 (2016)
- M. Heib, E. Riedlberger, D. Spirkoska, M. Bichler, G. Abstreiter, A. Fontcuberta i Morral. J. Cryst. Growth, 310 (6), 1049 (2008)
- A. Rothman, V.G. Dubrovskii, E. Joselevich. Proc. Natl. Acad. Sci. (PNAS), 117 (1), 152 (2020)
- А.Н. Карпов, А.В. Зверев, А.Г. Настовьяк, С.В. Усенков, Н.Л. Шварц. Вычислит. методы и программир., 15 (3), 388 (2014)
- A.A. Spirina, I.G. Neizvestny, N.L. Shwartz. Semiconductors, 53, 2125 (2019)
- L. Fouquat, M. Vettori, C. Botella, A. Benamrouche, J. Penuelas, G. Grenet. J. Cryst. Growth, 514, 83 (2019)
- A.A. Spirina, V.L. Alperovich, N.L. Shwartz. Appl. Surf. Sci., 540, 148281 (2021)
- А.А. Спирина, Н.Л. Шварц. ФТП, 54 (2), 160 (2020)
- N. Morgan, V.G. Dubrovskii, A.K. Stief, D. Dede, M. Sangle-Ferri\`ere, A. Rudra, V. Piazza, A. Fontcuberta i Morral. Cryst. Growth Des., 23 (7), 5083 (2023)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.