"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Взаимодействие фуллерена с монокристаллическим кремнием
Сресели О.М.1, Захарова И.Б.2, Вуль С.П.1, Макарова Т.Л.1, Шаронова Л.В.1, Беляков Л.В.1, Горячев Д.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 марта 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Исследовались оптические свойства слоев фуллерена C60 на кремниевой подложке до и после восстанавливающего отжига при 900-1050oC в атмосфере водорода с целью обнаружить образование кластеров карбида кремния. На основании спектров комбинационного рассеяния, инфракрасного поглощения, время-разрешенной фотолюминесценции и эллипсометрических измерений показано, что в пределах чувствительности использованных методик кластеры SiC не обнаружены. Слой после отжига представляет собой пористую наводороженную пленку разупорядоченного графита, возможно с небольшим количеством молекул фуллерена.
  1. В.Ф. Мастеров. СОЖ, N 1, 92 (1997); И.В. Золотухин. СОЖ, N 3, 111 (1999)
  2. Optical and electronic properties of fullerenes and fullerene-based materials, ed. by J. Shinar (N.Y., J. Dekker, 1999)
  3. L. Moro, A. Paul, D.C. Lorents, R. Malhotra, R.S. Ruoff, P. Lazzeri, L. Vanzetti, A. Lui, S. Subramoney. J. Appl. Phys., 81, 6141 (1997)
  4. X.L. Wu, G.G. Siu, M.J. Stokes, D.L. Fan, Y. Gu, X.M. Bao. Appl. Phys. Lett., 77 (9), 1292 (2000)
  5. S.S. Deng, X.L. Wu, S.H. Yang. Acta Mater., 52 (7), 1953 (2004)
  6. Т.Л. Макарова, А.Я. Вуль, И.Б. Захарова, Т.И. Зубкова. ФТТ, 41, 354 (1999)
  7. T.L. Makarova, N.V. Seleznev, I.B. Zakharova, T.I. Zubkova. Molecular Mater., 10, 105 (1998)
  8. Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1983)
  9. F. Yan, X.-M. Bao, X.-W. Wu. Appl. Phys. Lett., 67, 3471 (1995)
  10. Y. Kuzmany, R. Pfeiffer, M. Hulman, C. Kramberger. Phil. Trans. R. Soc. London, Ser. A, 362 (1824), 2375 (2004)
  11. Т.Л. Макарова. ФТП, 35 (3), 257 (2001)
  12. M.R. Resmi, Shuguang Ma, R. Caprioli, T. Pradeep. Chem. Phys. Lett., 333, 515 (2001)
  13. Y. Ward, R.J. Young, R.A. Shatwell. J. Mater. Sci., 39, 6781 (2004)
  14. G. Compagnini. Appl. Opt., 33 (31), 7377 (1994)
  15. О.М. Сресели, Д.Н. Горячев, В.Ю. Осипов, Л.В. Беляков, С.П. Вуль, И.Т. Серенков, В.И. Захаров, А.Я. Вуль. ФТП, 36 (5), 604 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.