"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Водородсодержащие доноры в кремнии --- центры с отрицательной эффективной корреляционной энергией
Покотило Ю.М.1, Петух А.Н.1, Литвинов В.В.1, Цвырко В.Г.1
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 13 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

Исследуется перестройка мелких водородсодержащих доноров в Si, которые формировались имплантацией образцов низкоэнергетическими (300 кэВ) ионами водорода с последующей термообработкой при температуре 450oC. Эксперименты проведены на диодах Шоттки Ag--Mo--Si и диодах с мелким (~1 мкм) p+-n-переходом. Концентрация и распределение доноров определялись методом C-V-характеристик на частоте 1.2 МГц. Из анализа температурной зависимости равновесной концентрации электронов установлено, что процесс перестройки водородсодержащих доноров описывается в предположении перезарядки центра с отрицательной эффективной корреляционной энергией (U<0). Трансформация между двумя равновесными конфигурациями двойного водородного донора (DB++=<ftrightarrow DA0) происходит при положении уровня Ферми EF=Ec-0.30 эВ. Обнаружена стимулированная захватом неосновных носителей заряда перестройка доноров из нейтрального в двукратно-заряженное состояние DA0-> DB++ при комнатной температуре.
  • Y. Ohmura, Y. Zohta, M. Kanazawa. Phys. Status Solidi (a), 15, 93 (1973)
  • Yu.V. Gorelkinskii, V.O. Sigle, Zh.S. Takibaev. Phys. Status Solidi (a), 22, 55 (1974)
  • В.В. Козловский. Модифицирование полупроводников пучками протонов (СПб., Наука, 2003)
  • Х.А. Абдуллин, Ю.В. Горелкинский, Б.Н. Мукашев. ФТП, 36 (3), 257 (2002)
  • Yu.V. Gotelkinskii, N.N. Nevinnyi. Nucl. Instit. Meth., 209, 677 (1983)
  • Б.Н. Мукашев, Х.А. Абдуллин, Ю.В. Горелкинский. УФН, 170 (2), 143 (2000)
  • Ф.Ф. Комаров, А.Ф. Комаров. Физические процессы при ионной имплантации в твердом теле (Мн., УП Технопринт, 2001)
  • Yu.V. Gorelkinskii, Kh.A. Abdullin, B.N. Mukashev. Mater Sci. Engin. C, C19, 397 (2002)
  • Kh.A. Abdullin, Yu.V. Gorelkinskii, B.N. Mukashev. Physica B: Condenc. Matter., 340--342, 692 (2003)
  • Л.Ф. Макаренко, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 19 (11), 1935 (1985)
  • V.V. Litvinov, G.V. Palchik. Phys. Status Solidi (a), 108, 311 (1988)
  • H.I. Hoffmann. Appl. Phys., A27, 39 (1982)
  • H.I. Hoffmann. Appl. Phys., A27, 307 (1982)
  • I. Hartung, I. Weber. Phys. Rev., 48 (19), 1461 (1993)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.