"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Водородсодержащие доноры в кремнии --- центры с отрицательной эффективной корреляционной энергией
Покотило Ю.М.1, Петух А.Н.1, Литвинов В.В.1, Цвырко В.Г.1
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 13 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

Исследуется перестройка мелких водородсодержащих доноров в Si, которые формировались имплантацией образцов низкоэнергетическими (300 кэВ) ионами водорода с последующей термообработкой при температуре 450oC. Эксперименты проведены на диодах Шоттки Ag--Mo--Si и диодах с мелким (~1 мкм) p+-n-переходом. Концентрация и распределение доноров определялись методом C-V-характеристик на частоте 1.2 МГц. Из анализа температурной зависимости равновесной концентрации электронов установлено, что процесс перестройки водородсодержащих доноров описывается в предположении перезарядки центра с отрицательной эффективной корреляционной энергией (U<0). Трансформация между двумя равновесными конфигурациями двойного водородного донора (DB++=<ftrightarrow DA0) происходит при положении уровня Ферми EF=Ec-0.30 эВ. Обнаружена стимулированная захватом неосновных носителей заряда перестройка доноров из нейтрального в двукратно-заряженное состояние DA0-> DB++ при комнатной температуре.
  1. Y. Ohmura, Y. Zohta, M. Kanazawa. Phys. Status Solidi (a), 15, 93 (1973)
  2. Yu.V. Gorelkinskii, V.O. Sigle, Zh.S. Takibaev. Phys. Status Solidi (a), 22, 55 (1974)
  3. В.В. Козловский. Модифицирование полупроводников пучками протонов (СПб., Наука, 2003)
  4. Х.А. Абдуллин, Ю.В. Горелкинский, Б.Н. Мукашев. ФТП, 36 (3), 257 (2002)
  5. Yu.V. Gotelkinskii, N.N. Nevinnyi. Nucl. Instit. Meth., 209, 677 (1983)
  6. Б.Н. Мукашев, Х.А. Абдуллин, Ю.В. Горелкинский. УФН, 170 (2), 143 (2000)
  7. Ф.Ф. Комаров, А.Ф. Комаров. Физические процессы при ионной имплантации в твердом теле (Мн., УП Технопринт, 2001)
  8. Yu.V. Gorelkinskii, Kh.A. Abdullin, B.N. Mukashev. Mater Sci. Engin. C, C19, 397 (2002)
  9. Kh.A. Abdullin, Yu.V. Gorelkinskii, B.N. Mukashev. Physica B: Condenc. Matter., 340--342, 692 (2003)
  10. Л.Ф. Макаренко, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 19 (11), 1935 (1985)
  11. V.V. Litvinov, G.V. Palchik. Phys. Status Solidi (a), 108, 311 (1988)
  12. H.I. Hoffmann. Appl. Phys., A27, 39 (1982)
  13. H.I. Hoffmann. Appl. Phys., A27, 307 (1982)
  14. I. Hartung, I. Weber. Phys. Rev., 48 (19), 1461 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.