Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Гетероструктуры AlGaN/GaN с высокой подвижностью электронов, выращенные методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений

Лундин В.В.¹, Заварин Е.Е.¹, Бесюлькин А.И.¹, Гладышев А.Г.¹, Сахаров А.В.¹, Кокорев М.Ф.², Шмидт Н.М.¹, Цацульников А.Ф.¹, Леденцов Н.Н.¹, Алфёров Ж.И.¹, Каканаков Р.³

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

²Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

³Институт прикладной физики Болгарской академии наук, Пловдив, Болгария

Поступила в редакцию: 10 марта 2004 г.

Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.

PDF версия

Исследованы особенности газофазной эпитаксии из металлорганических соединений гетероструктур AlGaN/GaN. Получены структуры с двумерным электронным газом с подвижностью 1290 см²/(В · с) и концентрацией в канале 1.2· 10¹³ см^-2 (при комнатной температуре). Рассмотрено влияние чистоты исходных компонентов на параметры полученных слоев и гетероструктур.

M. Marso, P. Javorka, A. Alam, M. Wolter, H. Hartdegen, A. Fox, M. Heuken, P. Kordos, H. Luth. Phys. Status Solidi (A), 188 (1), 199 (2001)
N. Zhang, B. Moran, S.P. DenBaars, U.K. Mishra, X.W. Wang, T.P. Ma. Phys. Status Solidi (A), 188 (1), 213 (2001)
G. Simin, A. Tarakji, X. Hu, A. Koudymov, J. Yang, M. Asif Khan, M.S. Shur, R. Gaska. Phys. Status Solidi (A), 188 (1), 219 (2001)
N. Maeda, T. Saitoh, K. Tusubaki, N. Kobayashi. Phys. Status Solidi (A), 188 (1), 223 (2001)
Y. Liu, J.A. Bardwell, S.P. McAlister, H. Tang, J.B. Webb, T.W. MacElwee. Phys. Status Solidi (A), 188 (1), 233 (2001)
B. Shen, T. Someya, Y. Arakawa. Appl. Phys. Lett., 76 (19), 2746 (2001)
www.compoundsemiconductor.net/articles/news/7/12/12/1
W.V. Lundin, A.V. Sakharov, A.F. Tsatsul'nikov, E.E. Zavarin, A.I. Besulkin, M.F. Kokorev, R.N. Kutt, V.Yu. Davydov, V.V. Tretyakov, D.V. Pakhnin, A.S. Usikov. Phys. Status Solidi (A), 188 (2), 885 (2001)
M.F. Kokorev, N.A. Maleev. Semicond. Sci. Technol., 15 (3), 301 (2000).
M.F. Kokorev, N.A. Maleev, D.V. Pakhnin, A.E. Zhukov, V.M. Ustinov. Proc. 9^th Int. Symp. Nanostructures: Physics and Technology", ed. by Zh. Alferov, L. Esaki (St. Petersburg, Russia, June 18-22, 2001) p. 230
A.S. Usikov, W.V. Lundin, B.V. Pushnyi, N.M. Shmidt, V.Yu. Davidov, A.V. Sakharov, T.V. Shubina, A.A. Toropov, N.N. Faleev, M. Shcheglov, A.F. Tsatsul'nikov. Proc. 7^th Int. Conf. on Silicon Carbide, III nitrides and Related Materials-97 (Stockholm, Sweden, September 1997) pt 2, p. 1393

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель