"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Определение времени жизни неосновных носителей заряда в слитках кремния по релаксации фотопроводимости, измеренной на сверхвысоких частотах
Бородовский П.А.1, Булдыгин А.Ф.1, Токарев А.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 15 декабря 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.

Предлагается новый метод определения объемного времени жизни неосновных носителей заряда в слитках монокристаллического кремния. Измеренный на сверхвысокой частоте сигнал фотопроводимости, нормированный по его начальному значению, сравнивается с результатами расчета полного числа избыточных носителей заряда N(t)/Nst, где Nst соответствует квазистационарной фотопроводимости. Местоположение точки пересечения кривой релаксации фотопроводимости и зависимости N(t=tau)/Nst определяет объемное время жизни tau=tauv. Измерения проводились на слитках кремния, полученных методом бестигельной зонной плавки и методом Чохральского, с различной величиной удельного электрического сопротивления. Представленные результаты измерений хорошо согласуются с расчетом.
  1. Л.П. Павлов. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов (М., Высш. шк., 1987) гл. 3, с. 105
  2. N.J. Harrick. J. Appl. Phys., 27(12), 1439 (1956)
  3. V. Grivickas, J. Linnros, A. Vigelis, J. Seckus, J.A. Tellefsek. Sol. St. Electron., 35, 299 (1992)
  4. J. Linnros. J. Appl. Phys., 84, 275 (1998)
  5. Д.В. Ахметов, Н.В. Фатеев. ФТП, 35, 40 (2001)
  6. A.M. Ramsa, H. Jacobs, F.A. Brand. J. Appl. Phys., 30, 1054 (1959)
  7. H.A. Alwater. J. Appl. Phys., 30, 1054 (1959)
  8. M. Kunst. G. Beck. J. Appl. Phys., 60, 3558 (1986); J. Appl. Phys., 63, 1093 (1988)
  9. A. Sanders, M. Kunst. Sol. St. Electron., 34, 1007 (1991)
  10. C. Swiatkowski, A. Sanders, K.-D. Buhre, M. Kunst. J. Appl. Phys., 78, 1763f (1995)
  11. M. Schofthaler, R. Brendel. J. Appl. Phys., 77, 3162 (1995)
  12. J. Schmidt, A.G. Aberle. J. Appl. Phys., 81, 6187 (1995)
  13. П.А. Бородовский, А.Ф. Булдыгин, А.С. Токарев. Автометрия, N 6, 43 (2000)
  14. M.S. Tyagi, J.F. Nus. Sol. St. Electron., 25, 411 (1982)
  15. В.Е. Лашкарев, Э.И. Рашба, В.А. Романов, З.А. Демиденко. ЖТФ, 28, 1853 (1958)
  16. K. Misiakos, F.A. Lindholm, A. Neugroshel. J. Appl. Phys., 58(4), 1647 (1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.