"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Взаимодействие инфракрасного излучения со свободными носителями заряда в мезопористом кремнии
Осминкина Л.А.1, Курепина Е.В.1, Павликов А.В.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 8 июля 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Исследовано поглощение и отражение инфракрасного излучения в диапазоне 500-6000 см-1, связанное со свободными носителями заряда в слоях мезопористого кремния (пористость 60-70%), сформированных из монокристаллических пластин p-Si с концентрацией дырок Np~1020 см-3 ориентации (100). Установлено, что вклад свободных дырок в оптические параметры образцов уменьшается с ростом их пористости, а также дополнительно падает при естественном окислении на воздухе. Экспериментальные результаты объяснены в рамках модели, основанной на приближении эффективной среды Бруггемана и классической теории Друде с поправкой на дополнительное рассеяние носителей заряда в кремниевых остатках (нанокристаллах). Сравнение расчетных и экспериментальных зависимостей дает значение концентрации дырок в нанокристаллах Np~1019 см-3 для свежеприготовленных слоев и показывает снижение Np в процессе их естественного окисления.
  1. A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
  2. O. Bisi, S. Ossicini, L. Pavesi. Surf. Sci. Rep., 38, 1 (2000)
  3. N. Kunzner, D. Kovalev, J. Diener, E. Gross, V.Yu. Timoshenko, G. Polisski, F. Koch, M. Fujii. Opt. Lett., 26, 1265 (2001)
  4. L.A. Golovan, V.Yu. Timoshenko, A.B. Fedotov, L.P. Kuznetsova, D.A. Sidorov-Biryukov, P.K. Kashkarov, A.M. Zheltikov, D. Kovalev, N. Kunzner, E. Gross, J. Diener, G. Polisski, F. Koch. Appl. Phys. B, 73, 31 (2001)
  5. D. Kovalev, V.Yu. Timoshenko, E. Gross, N. Kunzner, F. Koch. Phys. Rev. Lett., 87, 068 301 (2001)
  6. D. Kovalev, E. Gross, N. Kunzner, F. Koch, V.Yu. Timoshenko, M. Fujii. Phys. Rev. Lett., 89, 137 401 (2002)
  7. V. Lehmann, F. Hofmann, F. Moller, U. Gruning. Thin Sol. Films, 255, 20 (1995)
  8. G. Polisski, D. Kovalev, G.G. Dollinger, T. Sulima, F. Koch. Physica B, 273--274, 951 (1999)
  9. V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, V. Lysenko, M.G. Lisachenko, F. Koch. Phys. Rev. B, 64, 085 314 (2001)
  10. V.Yu. Timoshenko, L.A. Osminkina, A.I. Efimova, L.A. Golovan, P.K. Kashkarov, D. Kovalev, N. Kunzner, E. Gross, J. Diener, F. Koch. Phys. Rev. B, 67, 113 405 (2003)
  11. W. Theib. Surf. Sci. Rep., 29, 91 (1997)
  12. Ю.И. Уханов. Оптические свойства полупроводников (М., Наука, 1977)
  13. П.К. Кашкаров, Е.А. Константинова, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 30, 1479 (1996)
  14. D.A.G. Bruggeman. Ann. Phys., 24, 636 (1935)
  15. К.В. Шалимова. Физика полупроводников (М., Энергоатомиздат, 1985)
  16. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1970)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.