Вышедшие номера
Влияние электронного облучения на оптические и фотоэлектрические свойства микрокристаллического гидрированного кремния
Казанский А.Г.1, Форш П.А.1, Хабарова К.Ю.1, Чукичев М.В.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2003 г.

Исследовано влияние облучения электронами с энергией 40 кэВ на спектральную зависимость коэффициента поглощения, проводимость и фотопроводимость пленок mu c-Si : H. Обнаружено увеличение коэффициента поглощения в "дефектной области" спектра (hnu<1.2 эВ) и уменьшение фотопроводимости пленок mu c-Si : H после их облучения. Исходные параметры восстанавливаются после отжига пленок в течение 1 ч при температуре 180oC. Предположено, что наблюдаемые изменения связаны с образованием в пленках mu c-Si : H в результате облучения электронами метастабильных дефектов типа оборванных связей на границах колонн микрокристаллов. Получена обратно пропорциональная зависимость между величиной фотопроводимости и концентрацией дефектов, возникающих под действием облучения пленок mu c-Si : H электронами.