Физика и техника полупроводников
Вышедшие номера
Исследование особенностей нанесения нанослоев Al2O3 методом атомно-слоевого осаждения на структурированные пленки ITO
Марков Л.К. 1, Павлюченко А.С. 1, Смирнова И.П.1, Меш М.В.2, Колоколов Д.С. 2, Пушкарев А.П. 3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2АО "СКТБ Кольцова", Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: l.markov@mail.ioffe.ru, alexey.pavluchenko@gmail.com
Поступила в редакцию: 8 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 5 мая 2022 г.
Принята к печати: 2 июня 2022 г.
Выставление онлайн: 17 июля 2022 г.

Изучались просветляющие наноструктурированные покрытия ITO/Al2O3, имеющие градиент эффективного показателя преломления в направлении, перпендикулярном плоскости подложки. Исследуемые покрытия были получены методом атомно-слоевого осаждения оксида алюминия на структурированные пленки ITO. Средствами просвечивающей электронной микроскопии показано, что осажденный наноразмерный слой оксида алюминия обладает хорошим качеством и равномерно обволакивает нитевидные кристаллы ITO. Как оказалось в экспериментах, толщина получаемого слоя Al2O3 зависит от толщины и, как следствие, степени развитости поверхности исходной пленки ITO. Получаемые толщины могут быть в несколько раз тоньше, чем планировалось в эксперименте, исходя как из расчетов параметров процесса атомно-слоевого осаждения, так и из непосредственных измерений скорости осаждения оксида алюминия на пленки неструктурированного ITO. Возможной причиной, влияющей на скорость роста слоя A1O3 в наноструктурированных пленках ITO, является сильный рост площади поверхности пленки ITO при ее структурировании. Так, оценка для пленки структурированного ITO толщиной 700 нм, проведенная на основе данных просвечивающей и сканирующей микроскопии, показала, что площадь ее поверхности более чем в 20 раз превышает площадь гладкой пленки. Ключевые слова: нанослои Al2O3, ITO, наноструктурированные покрытия.
  1. H. Wang, F. Zhang, C. Wang, J. Duan. Opt. Laser Techn., 149, 107931 (2022)
  2. N. Cherupurakal, M.S. Mozumder, A.H.I. Mourad, S. Lalwani. Renew. Sustain. Energy Rev., 151, 111538 (2021)
  3. H. Sun, J. Liu, C. Zhou, W. Yang, H. Liu, X. Zhang, Z. Li, B. Zhang, W. Jie, Y. Xu. ACS Appl. Mater. Interfaces, 13, 16997 (2021)
  4. A. Jacobo-Mari n, M. Rueda, J.J. Hernandez, I. Navarro-Baena, M.A. Monclus, J.M. Molina-Aldareguia, I. Rodri guez. Sci. Rep., 11, 1 (2021)
  5. J.W.S. Rayleigh. Proc. London Math. Soc., 11, 51 (1880)
  6. J.A. Dobrowolski, D. Poitras, P. Ma, H. Vakil, M. Acree. Appl. Optics, 41, 3075 (2002)
  7. J.-Y. Cho, K.-J. Byeon, H. Lee. Optics Lett., 36, 3203 (2011)
  8. J.K. Kim, A. N. Noemaun, F.W. Mont, D. Meyaard, E.F. Schubert, D.J. Poxson, H. Kim, C. Sone, Y. Park. Appl. Phys. Lett., 93, 221111 (2008)
  9. P.G. O'Brien, D.P. Puzzo, A. Chutinan, L.D. Bonifacio, G.A. Ozin, N.P. Kherani. Adv. Mater., 22, 611 (2010)
  10. P. G. O'Brien, Y. Yang, A. Chutinan, P. Mahtani, K. Leong, D.P. Puzzo, L.D. Bonifacio, C.W. Lin, G.A. Ozin, N.P. Kherani. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 102, 173 (2012)
  11. J.K. Kim, S. Chhajed, M.F. Schubert, E.F. Schubert, A.J. Fischer, M.H. Crawford, J. Cho, H. Kim, C. Sone. Adv. Mater., 20, 801 (2008)
  12. T. Aytug, A.R. Lupini, G.E. Jellison, P.C. Joshi, I.H. Ivanov, T. Liu, P. Wang, R. Menon, R.M. Trejo, E. Lara-Curzio, S.R. Hunter, J.T. Simpson, M.P. Paranthaman, D.K. Christen. J. Mater. Chem. C, 3, 5440 (2015)
  13. Л.К. Марков, И.П. Смирнова, М.В. Кукушкин, А.С. Павлюченко. ФТП, 6, 564 (2020)
  14. M.J. Park, C.U. Kim, S.B. Kang, S.H. Won, J.S. Kwak, C.-M. Kim, K.J. Choi. Adv. Opt. Mater., 5, 1600684 (2017)
  15. Z. Gong, Q. Li, Y. Li, H. Xiong, H. Liu, S. Wang, Y. Zhang, M. Guo, F. Yun. Appl. Phys. Express, 9, 082102 (2016)
  16. Л.К. Марков, А.С. Павлюченко, И.П. Смирнова, С.И. Павлов. ФТП, 52, 1228 (2018)
  17. Л.К. Марков, А.С. Павлюченко, И.П. Смирнова. ФТП, 53, 181 (2019)
  18. Z.W. Han, Z. Wang, X.M. Feng, B. Li, Z.Z. Mu, J.Q. Zhang, S.C. Niu, L.Q. Ren. Biosurface and Biotribology, 2, 137 (2016)
  19. M. Kryuchkov, J. Lehmann, J. Schaab, V. Cherepanov, A. Blagodatski, M. Fiebig, V.L. Katanaev. J. Nanobiotechnology, 15, 61 (2017)
  20. M. Kryuchkov, O. Bilousov, J. Lehmann, M. Fiebig, V.L. Katanaev. Nature, 585, 383 (2020)
  21. Л.К. Марков, А.С. Павлюченко, И.П. Смирнова, М.В. Меш, Д.С. Колоколов. ФТП, 55, 365 (2021)
  22. Л.К. Марков, И.П. Смирнова, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, Д.А. Закгейм, С.И. Павлов. ФТП, 50, 1001 (2016)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.