"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
К вопросу о модификации поверхности кремния при ее исследовании методом сканирующей туннельной микроскопии
Корнилов В.М.1, Лачинов А.Н.1
1Институт физики молекул и кристаллов Уфимского научного центра РАН, Уфа, Россия
Поступила в редакцию: 7 февраля 2002 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2003 г.

Представлены результаты исследования методом сканирующей туннельной микроскопии на воздухе поверхности кремния с тонким слоем окисла. Показано, что туннельный ток может представлять собой суперпозицию нескольких составляющих, что позволяет говорить о регистрации не истинного изображения поверхности, а псевдорельефа. Установлены основные закономерности модификации псевдорельефа. При положительной полярности на образце формируется изображение в виде впадин, при отрицательной --- в виде возвышенностей. Сделано предположение об электронной природе наблюдаемой модификации, которое подтверждается возможностью осуществления циклов "запись--стирание--запись" изображения на одном и том же участке поверхности. Обсуждается механизм модификации поверхности кремния в модели структуры диэлектрик--окисел--полупроводник, где роль диэлектрика может играть слой адсорбата.
  1. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1, 2
  2. А.А. Бухараев, А.В. Назаров, В.Ю. Петухов, К.М. Салихов. Письма ЖТФ, 16, 8 (1990)
  3. М.С. Хайкин, А.М. Трояновский, В.С. Эдельман, В.М. Пудалов, С.Г. Семенчинский. Письма ЖЭТФ, 44, 193 (1988)
  4. V.V. Levenets, V.I. Beklemishev, E.P. Kirilenko, I.I. Makhonin, A.Yu. Trifonov, B.A. Loginiv, V.V. Protasenko. Jap. J. Appl. Phys., 34, 1723 (1995)
  5. Д.В. Вялых, С.И. Федосеенко. ФТП, 33, 708 (1999)
  6. M.I. Sumetskii, H.U. Baranger. Appl. Phys. Lett., 66, 1352 (1995)
  7. А.В. Юхневич, О.П. Лосик, В.Л. Кузнецов, А.В. Паненко. Поверхность, N 8, 95 (2001)
  8. J.A. Dagata, J. Schneir, H.H. Harary, C.J. Evans, M.T. Postek, J. Bennett. Phys. Lett., 56, 2001 (1990)
  9. Л.Н. Болотов, В.А. Козлов, И.В. Макаренко, А.Н. Титков. ФТП, 27, 1375 (1993)
  10. J.W. Lyding, T.-C. Shen, J.S. Hubacek, J.R. Tucker, G.C. Abeln. Appl. Phys. Lett., 64, 2010 (1994)
  11. J.A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, H. Yokoyama. Appl. Phys. Lett., 73, 271 (1998)
  12. G. Abadal, F. Perez-Murano, N. Barniol, X. Aymerich. Appl. Phys. A, 66, 791 (1998)
  13. Сканирующий мультимикроскоп СММ-2000Т (М., ЗАО "КПД", Технопарк МИЭТ, Зеленоград; 1997)
  14. С.Ю. Васильев, А.В. Денисов. ЖТФ, 70, 100 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.