Исследование сильно легированных эпитаксиальных пленок n-3C-SiC, выращенных методом сублимации на основе полуизолирующих подложек 6H-SiC
Лебедев А.А.
1, Давыдов В.Ю.
1, Елисеев И.А.
1, Лебедев С.П.1, Никитина И.П.1, Оганесян Г.А.
1, Смирнов А.Н.
1, Шахов Л.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: shura.lebe@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2021 г.
В окончательной редакции: 18 октября 2021 г.
Принята к печати: 18 октября 2021 г.
Выставление онлайн: 22 ноября 2021 г.
Методом сублимационной эпитаксии получены сильно легированные пленки 3C-SiC на основе полуизолирующих подложек 6H-SiC. Структурное совершенство полученных образцов контролировалось методом рентгеновской дифрактометрии. Проведенные измерения спектров фотолюминесцении и эффекта Холла подтвердили достаточно высокое совершенство полученных эпитаксиальных слоев. Ключевые слова: SiC, гетероэпитаксия, кубический карбид кремния, рентгеновская дифрактометрия, эффект Холла, фотолюминесценция.
- Properties of Advanced Semiconductor Materials: GaN, AlN, InN, BN, SiC, SiGe, eds M.E. Levinshtein, S.L. Rumyantsev, M.S. Shur (John Wiley \& Sons, N.Y.-Chichester--Weinheim-Brisbane Singapore-Toronto, 2001)
- J.A. Lely. Ber. Dt. Keram. Ges, 32, 229 (1955)
- Yu.M. Tairov, V.F. Tsvetkov. J. Cryst. Growth, 43, 209 (1978)
- S.N. Gorin, L.M. Ivanova. Phys. Status Solidi B, 202, 221 (1997)
- S. Nishino, J. Powel, N.A. Will. Appl. Phys. Lett., 42, 460 (1983)
- A.A. Lebedev, E.V. Bogdanova, P.L. Abramov, S.P. Lebedev, D.K. Nel'son, G.A. Oganesyan, A.S. Tregubova, R. Yakimova. Semicond. Sci. Technol., 23, 075004 (2008)
- D.V. Davydov, A.A. Lebedev, A.S. Tregubova, V.V. Kozlovski, A.N. Kuznetsov, E.V. Bogdanova. Mater. Sci. Forum, 338-342, 221 (2000)
- А.А. Лебедев, П.Л. Абрамов, В.В. Зеленин, Е.В. Богданова, С.П. Лебедев, Д.К. Нельсон, Б.С. Разбирин, М.П. Щеглов, А.С. Трегубова, M. Suvajarvi, R. Yakimova. ФТП, 41, 273 (2007)
- L.V. Shakhov, A.A. Lebedev, N.V. Seredova, S.P. Lebedev, V.V. Kozlovski, A.V. Zubov, I.P. Nikitina. Mater. Sci. Forum, 1004, 278 (2020)
- J.A. Freitas, jr., W.J. Moore. Braz. J. Phys., 28 (1), 12 (1998)
- S. Nakashima, H. Harima. Phys. Status Solidi A, 162, 39 (1997)
- N. Piluso, A. Severino, M. Camarda, R. Anzalone, A. Canino, G. Condorelli, G. Abbondanza, F. La Via. Mater. Sci. Forum, 645-648, 255 (2010)
- M. Chafai, A. Jaouhari, A. Torres, R. Anton, E. Martin, J. Jimenez, W.C. Mitchel. J. Appl. Phys., 90, 5211 (2001)
- A. Suzuki, H. Matsunami, T. Tanaka. J. Electrochem. Soc., 124, 241 (1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
