"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Деформация тонких пленок полуметаллов методом купольного изгиба подложки
The Ministry of education of The Russian Federation, State task, FSZN-2020-0026
Суслов А.В. 1, Герега В.А. 1, Грабов В.М. 1, Демидов Е.В. 1, Комаров В.А. 1
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
Email: a.v_suslov@mail.ru, gerega.vasilisa96@gmail.com, vmgrabov@yandex.ru, demidov_evg@mail.ru, va-komar@yandex.ru
Поступила в редакцию: 20 октября 2021 г.
В окончательной редакции: 25 октября 2021 г.
Принята к печати: 25 октября 2021 г.
Выставление онлайн: 22 ноября 2021 г.

Представлены результаты исследования деформации пленок полуметаллов, создаваемой путем купольного изгиба подложки. Контроль деформации проводился методами рентгеноструктурного анализа. Показано, что метод купольного изгиба может быть использован для исследования пленок в условиях плоскостной деформации, возникающей в системе пленка-подложка вследствие различия коэффициентов температурного расширения материала пленки и подложки. Установлено, что деформация, создаваемая купольным изгибом подложки в сочетании с использованием подложек с различным температурным расширением, позволяет получить относительную плоскостную деформацию пленок висмута вплоть до 0.8% при 300 K. Ключевые слова: висмут, полуметаллы, тонкие пленки, деформация, рентгеноструктурный анализ, коэффициент температурного расширения, купольная деформация.
  1. А.А. Бухараев, А.К. Звездин, А.П. Пятаков, Ю.К. Фетисов. УФН, 188], 1288 (2018)
  2. C.Y. Wu, J.C. Han, L. Sun, H.R. Gong, C.P. Liang. J. Phys.: Condens. Matter, 30, 285504 (2018)
  3. T. Inamoto, M. Takashiri. J. Appl. Phys., 120, 125105 (2016)
  4. Н.С. Каблукова, Е.В. Демидов, В.А. Комаров, Е.Е. Христич. Изв. РГПУ им. А.И. Герцена, 153, 13 (2012)
  5. В.М. Грабов, Е.В. Демидов, В.А. Комаров, А.В. Суслов, М.В. Суслов. Письма ЖТФ, 44 (11), 71 (2018)
  6. А.В. Суслов, В.М. Грабов, В.А. Комаров, Е.В. Демидов, С.В. Сенкевич, М.В. Суслов. ФТП, 53 (2), 616 (2019)
  7. T. Hirahara, N. Fukui, T. Shirasawa, M. Yamada, M. Aitani, H. Miyazaki, M. Matsunami, S. Kimura, T. Takahashi, S. Hasegawa, K. Kobayashi. PRL, 109, 227401 (2012)
  8. В.М. Грабов, Е.В. Демидов, В.А. Комаров, С.В. Сенкевич, А.В. Суслов. Поверхность. Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования, 7, 108 (2021)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.