Вышедшие номера
Влияние быстрого термического отжига на распределение атомов азота в GaAsN/GaAs
Ministry of Education and Science of the Russian Federation, FSRM, 2020-0008
Лазаренко А.А.1, Шубина К.Ю.1, Никитина Е.В.1,2, Пирогов Е.В.1, Мизеров А.М.1, Соболев М.С.1
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: alexashpigun@yandex.ru
Поступила в редакцию: 8 июня 2021 г.
В окончательной редакции: 21 июня 2021 г.
Принята к печати: 21 июня 2021 г.
Выставление онлайн: 7 августа 2021 г.

Исследуется влияние быстрого термического отжига тройных твердых растворов GaAs1-xNx/GaAs на распределение атомов азота в кристаллической решетке. Образцы исследуются методами фотолюминесценции и высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии. Из-за несоответствия размеров и электроотрицательности атомов азота и мышьяка, азот встраивается неравномерно в кристаллическую решетку GaAs. Показаны варианты расположения атомов азота в кристаллической решетке GaAs до и после быстрого термического отжига. Ключевые слова: разбавленные нитриды, гетероструктуры, молекулярно-пучковая эпитксия, арсенид галлия, азот.