Краевое легирование в графеновых приборах на подложках SiO2
Васильева Г.Ю.1, Смирнов Д.2, Васильев Ю.Б.1, Грешнов А.А.1, Haug R.J.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Institut fur Festkorperphysik, Leibniz Universitat Hannover, Hannover, Germany
Email: a_greshnov@hotmail.com
Поступила в редакцию: 29 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Экспериментально изучена проводимость лент монослойного и двухслойного графена шириной 0.5-4 мкм, изготовленных методом плазменного травления в кислороде. Обнаружена зависимость концентрации электронов в графене от ширины ленты. Этот эффект объясняется краевым легированием графена за счет дефектов, расположенных в SiO2 вблизи краев ленты. Предложен способ формирования резких p-n-переходов в графене и структур с постоянным градиентом концентрации электронов в плоскости графена с помощью краевого легирования. Ключевые слова: графен, краевое легирование, подложка, дефекты, плазменное травление.
- K.S. Novoselov, A.K. Geim, S.V. Morozov, D. Jiang, Y. Zhang, S.V. Dubonos, I.V. Grigorieva, A.A. Firsov. Science, 306, 666 (2004)
- X. Du, I. Skachko, A. Barker, E.Y. Andrei. Nature Nanotechnol., 3, 491 (2008)
- R.A. Nistor, M.A. Kuroda, A.A. Maarouf, G.J. Martyna. Phys. Rev. B, 86, 041409 (2012)
- S. Goniszewski, M. Adabi, O. Shaforost, S.M. Hanham, L. Hao, N. Klein. Sci. Rep., 6, 22858 (2016)
- W. Xu, T.-W. Lee. Mater. Horiz., 3, 186 (2016)
- K. Brenner, Y. Yang, R. Murali. Carbon, 50, 637 (2012)
- V. Umansky, R. de-Picciotto, M. Heiblum. Appl. Phys. Lett., 71, 683 (1997)
- S. Ryu, L. Liu, S. Berciaud, Y.-J. Yu, H. Liu, P. Kim, G.W. Flynn, L.E. Brus. Nano Lett., 10, 4944 (2010)
- K. Nagashio, T. Yamashita, T. Nishimura, K. Kita, A. Toriumi. J. Appl. Phys., 110, 024513 (2011)
- D. Bishoff, T. Krahenmann, S. Droscher, M.A. Gruner, C. Barraudm, T. Ihn, K. Ensslin. Appl. Phys. Lett., 101, 203103 (2012)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.