"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Краевое легирование в графеновых приборах на подложках SiO2
Переводная версия: 10.1134/S1063782619160292
Васильева Г.Ю.1, Смирнов Д.2, Васильев Ю.Б.1, Грешнов А.А.1, Haug R.J.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Institut fur Festkorperphysik, Leibniz Universitat Hannover, Hannover, Germany
Email: a_greshnov@hotmail.com
Поступила в редакцию: 29 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.

Экспериментально изучена проводимость лент монослойного и двухслойного графена шириной 0.5-4 мкм, изготовленных методом плазменного травления в кислороде. Обнаружена зависимость концентрации электронов в графене от ширины ленты. Этот эффект объясняется краевым легированием графена за счет дефектов, расположенных в SiO2 вблизи краев ленты. Предложен способ формирования резких p-n-переходов в графене и структур с постоянным градиентом концентрации электронов в плоскости графена с помощью краевого легирования. Ключевые слова: графен, краевое легирование, подложка, дефекты, плазменное травление.
  1. K.S. Novoselov, A.K. Geim, S.V. Morozov, D. Jiang, Y. Zhang, S.V. Dubonos, I.V. Grigorieva, A.A. Firsov. Science, 306, 666 (2004)
  2. X. Du, I. Skachko, A. Barker, E.Y. Andrei. Nature Nanotechnol., 3, 491 (2008)
  3. R.A. Nistor, M.A. Kuroda, A.A. Maarouf, G.J. Martyna. Phys. Rev. B, 86, 041409 (2012)
  4. S. Goniszewski, M. Adabi, O. Shaforost, S.M. Hanham, L. Hao, N. Klein. Sci. Rep., 6, 22858 (2016)
  5. W. Xu, T.-W. Lee. Mater. Horiz., 3, 186 (2016)
  6. K. Brenner, Y. Yang, R. Murali. Carbon, 50, 637 (2012)
  7. V. Umansky, R. de-Picciotto, M. Heiblum. Appl. Phys. Lett., 71, 683 (1997)
  8. S. Ryu, L. Liu, S. Berciaud, Y.-J. Yu, H. Liu, P. Kim, G.W. Flynn, L.E. Brus. Nano Lett., 10, 4944 (2010)
  9. K. Nagashio, T. Yamashita, T. Nishimura, K. Kita, A. Toriumi. J. Appl. Phys., 110, 024513 (2011)
  10. D. Bishoff, T. Krahenmann, S. Droscher, M.A. Gruner, C. Barraudm, T. Ihn, K. Ensslin. Appl. Phys. Lett., 101, 203103 (2012)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.