"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Оптические и структурные свойства наноструктур Ag и c-Si, формирующихся в процессе металл-стимулированного химического травления кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063782619040274
Жарова Ю.А.1, Толмачев В.А.1, Павлов С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: piliouguina@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 20 ноября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.

Работа, состоящая из двух частей, посвящена изучению особенностей трeхстадийного процесса металл-стимулированного химического травления кремния (МCХТ), используемого для получения кремниевых нанонитей. Ранее нами было проведено исследование слоя самоорганизующихся наночастиц серебра, осаждаемых химическим методом из раствора на поверхности монокристаллического кремния (c-Si) (стадия 1 МСХТ), а в настоящей работе --- наноструктур Si, формируемых на стадиях 2 и 3. С помощью спектральной эллипсометрии (длины волн λ=250-900 нм) определены псевдодиэлектрические функции наноструктур и проведено их сопоставление для всех трех стадий процесса МСХТ. Кроме того, для наноструктур Si вычислены параметры слоев (толщина и доля пустот) в многослойной оптической модели с использованием приближения эффективной среды Бруггемана и подгоночных процедур.
  1. Ю.А. Жарова, В.А. Толмачев, С.И. Павлов, Е.В. Гущина. ФТП, 52 (3), 333 (2018)
  2. Min Lv, Shao Su, Yao He, Qing Huang, Wenbing Hu, Di Li, Chunhai Fan, Shuit-Tong Lee. Adv. Mater., 22 (48), 5463 (2010)
  3. Hee Han, Zhipeng Huang, Woo Lee. Nanotoday, 9, 271 (2014)
  4. L.A. Osminkina, K.A. Gonchar, V.S. Marshov, K.V. Bunkov, D.V. Petrov, L.A. Golovan, V.A. Sivakov, V.Yu. Timoshenko. Nanoscale Res. Lett., 7, 524 (2012)
  5. Ellipsometry at the Nanoscale, ed. by M. Losurdo, K. Hingerl (N.Y.-Dordrecht-London, Springer, 2013) p. 1
  6. E. Agocs, P. Petrik, S. Milita, L. Vanzetti, S. Gardelis, A.G. Nassiopoulou, G. Pucker, R. Balboni, M. Fried. Thin Sol. Films, 519, 3002 (2011)
  7. Л.А. Головань, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. Успехи физ. наук, 177 (6), 619 (2008)
  8. B. Fodor, T. Defforge, E. Agocs, M. Fried, G. Gautier, P. Petrik. Appl. Surf. Sci., 421, 397 (2017)
  9. В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, Н.Н. Михайлов. Рос. нанотехнол., 4, 201 (2009) [Nanotechnologies in Russia, 4, 201 (2009)]
  10. Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981) c. 316 [Пер. с англ.: R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and Polarized Light (Amsterdam--N.Y.--Oxford, North-Holland Publ. Co, 1977)
  11. D.E. Aspnes. Thin Sol. Films, 89, 249 (1982)
  12. Handbook of Optical Constants of Solids, ed. by Palik (N.Y., Academic Press, 1985)
  13. D.A.G. Bruggeman. Ann. Phys. (Leipzig), 416, 636 (1935)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.