Вышедшие номера
Терморезистивный полупроводниковый SiC/Si-композиционный материал
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020052
Брантов С.К.1, Якимов Е.Б.2
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: brantov@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 18 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Разработан способ непрерывного выращивания слоя самосвязанных кристаллитов карбида кремния на поверхности гибкой углеродной фольги с последующей пропиткой получаемых структур расплавом кремния. На основе полученного композиционного материала изготовлены терморезисторы для температурного диапазона 900-1450 K с термочувствительностью, достигающей значения 11 350 K, способные использоваться в воздушной среде. Исследованы структурные и электрофизические характеристики упомянутого материала.