"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Микромассивы кремниевых нанопилларов: формирование и резонансное отражение света
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020027
Басалаева Л.С.1, Настаушев Ю.В.1, Дульцев Ф.Н.1,2, Крыжановская Н.В.3, Моисеев Э.И.3
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: basalae va@isp .nsc.ru
Поступила в редакцию: 10 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Представлены результаты исследования спектральных характеристик отражения микромассивов кремниевых нанопилларов (Si НП) в диапазоне длин волн от 400 до 1100 нм. Кремниевые нанопиллары были сформированы методом электронной литографии на негативном резисте с последующим реактивным ионным травлением через маску из резиста и SiO2 толщиной 100 нм. В спектрах отражения микромассивов нанопилларов наблюдаются минимумы, положения которых сильно зависят от диаметра нанопилларов.
  1. N. Dhindsa, J. Walia, S.S. Saini. Nanotechnology, 27 (49), 495203 (2016)
  2. K.T. Fountaine, W.S. Whitney, H.A. Atwater. J. Appl. Phys., 116, 153106 (2014)
  3. X. Li, J. Li, T. Chen, B.K. Tay, J. Wang, H. Yu. Nanoscale Res. Lett., 5 (11), 1721 (2010)
  4. M. Khorasaninejad, M.A. Swillam, K. Pillai, S.S. Saini. Optics Lett., 37 (20), 4194 (2012)
  5. S.-C. Yang, K. Richter, W.-J. Fischer. Appl. Phys. Lett., 106, 081112 (2015)
  6. V. Flauraud, M. Reyes, R. Paniagua-Dominguez, A.I. Kuznetsov, J. Brugger. ACS Photonics, 4 (8), 1913 (2017)
  7. Y. Kanamori, T. Ozaki, K. Hane. Optical Rev., 21 (5), 723 (2014)
  8. T. Lee, J. Jang, H. Jeong, J. Rho. Nano Convergence, 5 (1), 1 (2018)
  9. B. Cheong, O.N. Prudnikov, E. Cho, H.-S. Kim, J. Yu, Y.-S. Cho, H.-Y. Choi, S.T. Shin. Appl. Phys. Lett., 94 (21), 213104 (2009)
  10. Y. Shen, V. Rinnerbauer, I. Wang, V. Stelmakh, J.D. Joannopoulos, M. Soljav cic. ACS Photonics, 2 (1), 27 (2015)
  11. Y. Nagasaki, M. Suzuki, J. Takahara. Nano Lett., 17 (12), 7500 (2017)
  12. A.B. Evlyukhin, R.L. Eriksen, W. Cheng, J. Beermann, C. Reinhardt, A. Petrov, S. Prorok, M. Eich, B.N. Chichkov, S.I. Bozhevolnyi. Sci. Rep., 4, 4126 (2014)
  13. A.B. Evlyukhin, S.M. Novikov, U. Zywietz, R.L. Eriksen, C. Reinhardt, S.I. Bozhevolnyi, B.N. Chichkov. Nano Lett., 12, 3749 (2012)
  14. L.S. Golobokova, Yu.V. Nastaushev, F.N. Dultsev, D.V. Gulyaev, A.B. Talochkin, A.V. Latyshev. IOP J. Phys.: Conf. Ser., 541, 012074 (2014)
  15. Л.С. Голобокова, Ю.В. Настаушев, Ф.Н. Дульцев, Н.В. Крыжановская, Э.И. Моисеев, А.С. Кожухов, А.В. Латышев. ФТП, 49 (7), 961 (2015)
  16. L.S. Basalaeva, Yu.V. Nastaushev, F.N. Dultsev. Materials Today: Proceedings, 4, 11341 (2017)
  17. B. Hamza, A. Kadiyala, L.A. Hornak, Y. Liu, J.M. Dawson. Microelectronic Engin., 91, 70 (2012)
  18. Л.С. Басалаева, Ю.В. Настаушев, Ф.Н. Дульцев, Н.В. Крыжановская, Э.И. Моисеев. Опт. и спектр., 124 (5), 695 (2018)
  19. A.I. Kuznetsov, A.E. Miroshnichenko, Y.H. Fu, Jing Bo Zhang, B. Luk'yanchuk. Sci. Rep., 2, 492 (2012)
  20. F.J. Bezares, J.P. Long, O.J. Glembocki, J. Guo, R.W. Rendell, R. Kasica, L. Shirey, J.C. Owrutsky, J.D. Caldwell. Opt. Express, 21 (23), 27587 (2013)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.