Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Микромассивы кремниевых нанопилларов: формирование и резонансное отражение света

DOI: 10.21883/FTP.2019.02.47101.8956

Переводная версия: 10.1134/S1063782619020027

Басалаева Л.С.¹, Настаушев Ю.В.¹, Дульцев Ф.Н.^1,2, Крыжановская Н.В.³, Моисеев Э.И.³

¹Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

²Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia

³Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия Alferov Federal State Budgetary Institution of Higher Education and Science Saint Petersburg National Research Academic University of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

Alferov Federal State Budgetary Institution of Higher Education and Science Saint Petersburg National Research Academic University of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

Email: basalae va@isp .nsc.ru

Поступила в редакцию: 10 июля 2018 г.

Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены результаты исследования спектральных характеристик отражения микромассивов кремниевых нанопилларов (Si НП) в диапазоне длин волн от 400 до 1100 нм. Кремниевые нанопиллары были сформированы методом электронной литографии на негативном резисте с последующим реактивным ионным травлением через маску из резиста и SiO₂ толщиной 100 нм. В спектрах отражения микромассивов нанопилларов наблюдаются минимумы, положения которых сильно зависят от диаметра нанопилларов.

N. Dhindsa, J. Walia, S.S. Saini. Nanotechnology, 27 (49), 495203 (2016)
K.T. Fountaine, W.S. Whitney, H.A. Atwater. J. Appl. Phys., 116, 153106 (2014)
X. Li, J. Li, T. Chen, B.K. Tay, J. Wang, H. Yu. Nanoscale Res. Lett., 5 (11), 1721 (2010)
M. Khorasaninejad, M.A. Swillam, K. Pillai, S.S. Saini. Optics Lett., 37 (20), 4194 (2012)
S.-C. Yang, K. Richter, W.-J. Fischer. Appl. Phys. Lett., 106, 081112 (2015)
V. Flauraud, M. Reyes, R. Paniagua-Dominguez, A.I. Kuznetsov, J. Brugger. ACS Photonics, 4 (8), 1913 (2017)
Y. Kanamori, T. Ozaki, K. Hane. Optical Rev., 21 (5), 723 (2014)
T. Lee, J. Jang, H. Jeong, J. Rho. Nano Convergence, 5 (1), 1 (2018)
B. Cheong, O.N. Prudnikov, E. Cho, H.-S. Kim, J. Yu, Y.-S. Cho, H.-Y. Choi, S.T. Shin. Appl. Phys. Lett., 94 (21), 213104 (2009)
Y. Shen, V. Rinnerbauer, I. Wang, V. Stelmakh, J.D. Joannopoulos, M. Soljav cic. ACS Photonics, 2 (1), 27 (2015)
Y. Nagasaki, M. Suzuki, J. Takahara. Nano Lett., 17 (12), 7500 (2017)
A.B. Evlyukhin, R.L. Eriksen, W. Cheng, J. Beermann, C. Reinhardt, A. Petrov, S. Prorok, M. Eich, B.N. Chichkov, S.I. Bozhevolnyi. Sci. Rep., 4, 4126 (2014)
A.B. Evlyukhin, S.M. Novikov, U. Zywietz, R.L. Eriksen, C. Reinhardt, S.I. Bozhevolnyi, B.N. Chichkov. Nano Lett., 12, 3749 (2012)
L.S. Golobokova, Yu.V. Nastaushev, F.N. Dultsev, D.V. Gulyaev, A.B. Talochkin, A.V. Latyshev. IOP J. Phys.: Conf. Ser., 541, 012074 (2014)
Л.С. Голобокова, Ю.В. Настаушев, Ф.Н. Дульцев, Н.В. Крыжановская, Э.И. Моисеев, А.С. Кожухов, А.В. Латышев. ФТП, 49 (7), 961 (2015)
L.S. Basalaeva, Yu.V. Nastaushev, F.N. Dultsev. Materials Today: Proceedings, 4, 11341 (2017)
B. Hamza, A. Kadiyala, L.A. Hornak, Y. Liu, J.M. Dawson. Microelectronic Engin., 91, 70 (2012)
Л.С. Басалаева, Ю.В. Настаушев, Ф.Н. Дульцев, Н.В. Крыжановская, Э.И. Моисеев. Опт. и спектр., 124 (5), 695 (2018)
A.I. Kuznetsov, A.E. Miroshnichenko, Y.H. Fu, Jing Bo Zhang, B. Luk'yanchuk. Sci. Rep., 2, 492 (2012)
F.J. Bezares, J.P. Long, O.J. Glembocki, J. Guo, R.W. Rendell, R. Kasica, L. Shirey, J.C. Owrutsky, J.D. Caldwell. Opt. Express, 21 (23), 27587 (2013)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель