Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Изучение влияния временных характеристик модулированной DC-плазмы с (SiH4-Ar-O2)-газовой фазой на рост ncl-Si в матрице a-SiOx:H (CO2=15.5 мол%)
Переводная версия: 10.1134/S1063782618100214 
Ундалов Ю.К.1, Теруков Е.И.1,2, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: undalov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 7 февраля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2018 г.
Проведено изучение влияния различных режимов работы модулированной по времени DC-плазмы на формирование аморфной матрицы a-SiOx:H и нанокластеров кремния с помощью ИК-спектров и спектров фотолюминесценции. Модуляция DC-плазмы заключалась в многократном (n=180) выключении и включении катушки магнита магнетрона с различным сочетанием времени toff=1, 2, 5, 10, 15 с и ton =5, 10, 15 с соответственно, при неизменной концентрации кислорода (CO2=15.5 мол%) в (SiH4 + Ar + О2)-газовой смеси. Подтверждено положительное влияние эффекта самоиндукции на формирование как аморфной матрицы, так и нанокластеров кремния. Наибольшие значения x в a-SiOx:H и интенсивности фотолюминесценции наблюдались при сочетании длительного пребывания плазмы в рабочем состоянии (ton=10-15 с) и наибольшего значения напряженности магнитного поля. Замечено также влияние величины toff на процессы формирования как матрицы a-SiOx:H, так и нанакластеров кремния.
- А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии (М., Физматгиз, 2007)
- И.П. Суздалев. Нанотехнология: Физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов (М., Книжный дом "ЛИБРОКОМ", 2009)
- О.Б. Гусев, А.Н. Поддубный, А.А. Прокофьев, И.Н. Яссиевич. ФТП, 47 (2), 147 (2013)
- B. Drevillon, J. Perrin, J.M. Siefert, J. Huc, A. Lioret, G. de Rosny, P.M. Schmitt. Appl. Phys. Lett., 42 (9), 801 (1983)
- Y. Watanabe, M. Shiratani, Y. Kubo, I. Ogana, S. Ogi. Appl. Phys. Lett., 53 (14), 1263 (1988)
- D.A. Doughty, A. Gallagher. Phys. Rev. A, 42, 6166 (1990)
- Y. Kanzawa, S. Hayashi, K. Yamamoto. J. Phys.: Condens. Matter, 8, 4823 (1996)
- L. Boufendi, J. Gaudin, S. Huet, G. Viera, M. Dudemaine. Appl. Phys. Lett., 79, 4301 (2001)
- A. Puzder, A.J. Williamson, J.C. Grossman, G. Galli. Phys. Rev. Lett., 88 (9), 09740 (2002)
- L. Boufendi, M.Ch. Jouanny, E. Kovacevic, J. Berndt, M.M. Kikian. J. Phys. D: Appl. Phys., 44 (17), 174035 (2011)
- Т.Т. Корчагина, Д.В. Марин, В.А. Володин, А.А. Попов, M. Vergnat. ФТП, 43 (11), 1557 (2009)
- A. Bouchoule, A. Plain, L. Boufendi, J.Ph. Blondeau, C. Laure. J. Appl. Phys., 70, 1991 (1991)
- L. Boufendi, A. Plain, J.Ph. Blondean, A. Bouchoule, C. Laure, M. Toogood. Appl. Phys. Lett., 60 (2), 169 (1992)
- L. Boufendi, J. Hermann, A. Bouchoule, B. Dubreuli, S.S. Stoffele, W.W. Stoffels, M.L. de Giorgi. J. Appl. Phys., 76 (1), 148 (1994)
- Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков, О.Б. Гусев, И.Н. Трапезникова. ФТП, 50 (4), 538 (2016)
- F. Fogarassy, A. Slaoui, M. Froment. Phys. Rev. B, 37, 6468 (1988)
- M.T. Swihart, S.L. Girshick. J. Phys. Chem. B, 103, 64 (1999)
- K. Koga, Y. Matsuoka, K. Tanaka, M. Shiratani, Y. Watanabe. Appl. Phys. Lett., 77, 196 (2000)
- L. Couedel, M.M. Mikikian, L. Boufendi, A.A. Samarian. Phys. Rev. E, 74, 026403 (2006)
- L. Couedel, A.A. Samarian, M. Mikikian, L. Boufendi. Physics Plasmas, 15, 063705 (2008).
- М.А. Олеванов, Ю.А. Манкелевич, Т.В. Рахимова. ЖЭТФ, 125 (2), 324 (2004)
- Y. Watanabe, M. Shiratani. Plasma. Sources Sci. Technol., 3, 286 (1994)
- G. Lucovsky, J. Yang, S.S. Chao, J.E. Tyler, W. Czubatyi. Phys. Rev. B, 28 (6), 3225 (1983)
- D.V. Tsu, G. Lucovsky, B.N. Davidson. Phys. Rev. B, 40, 1795 (1989)
- T. Fukuzawa, S. Kushima, Y. Matsuoka, M. Shiratani, Y. Watanabe. J. Appl. Phys., 86, 3543 (1999)
- C. Biasotto, A.M. Dalrini, R.C. Teixeira, F.A. Bascoli, J.A. Diniz, S.A. Moshkalev, I. Doi. J. Vac. Sci. Technol. B, 25, 1166 (2007)
- G. Lucovsky, J. Yang, S.S. Chao, J.E. Tyler, W. Czubatyi. Phys. Rev. B, 28 (6), 3225 (1983)
- G. Lucovsky, W.B. Pollard. J. Vac. Sci. Technol. A, 1 (2), 313 (1983)
- J.C. Knights, R.A. Street, G. Lucovsky. J. Non-Cryst. Sol., 35--36, 279 (1980)
- D.V. Tsu, G. Lucovsky, B.N. Davidson. Phys. Rev. B, 40, 1795 (1989)
- P.G. Pai, S.S. Chao, Y. Takagi, G. Lucovsky. J. Vac. Sci. Technol. A, 4, 689 (1986)
- G. Lucovsky. Sol. St. Commun., 29, 571 (1979)
- W.D.A.M. de Boer, D. Timmerman, K. Dohnalova, I.N. Yassievich, H. Zhang, W.J. Buma, T. Gregorkiewiecz. Nature Nanotechnology, 5, 878 (2010)
- G. Allan, C. Delerue, M. Lannoo. Phys. Rev. Lett., 78, 3161 (1997)
- M.P. Garrity, T.W. Peterson, J.F. O'Hanlon. J. Vac. Sci. Technol. A, 14, 550 (1996)
- L. Patrone, D. Nelson, V.I. Safarov, M. Sentis, W. Marine, S. Giorgio. J. Appl. Phys., 87 (8), 3829 (2000).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
