"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии
Стипендия Президента Российской Федерации молодым ученым и аспирантам, СП-1404.2016.1
Орехов А.С.1,2, Камилов Т.С.3, Ибрагимова Б.В.3, Ивакин Г.И.1, Клечковская В.В.1
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: andrey.orekhov@gmail.com, klechvv@ns.crys.ras.ru
Поступила в редакцию: 12 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Проведен сравнительный анализ структурных особенностей пленок высшего силицида марганца, выращенных методом диффузионного легирования монокристаллических подложек кремния парами марганца в запаянной ампуле и проточном кварцевом реакторе при постоянной откачке. Методами растровой электронно-ионной микроскопии и высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии показано, что в откаченной ампуле формируется однофазная текстурированная пленка высшего силицида марганца. Изменение условий роста со стационарных (ампула) на квазистационарные (реактор) приводит к формированию поликристаллических островков высшего силицида марганца с наноразмерными включениями фазы моносилицида марганца. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44547.06
  1. S.L. Zhang, M. Ostling. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci., 28, 1 (2003)
  2. A.L. Schmitt, J.M. Higgins, J.R. Szczech, S. Jin. J. Mater. Chem., 20, 223 (2010)
  3. C.A. Nolph, E. Vescovo, P. Reinke. Appl. Surf. Sci., 255, 7642 (2009)
  4. J.E. Mahan. Thin Sol. Films, 461 (1), 152 (2004)
  5. Т.С. Камилов, В.В. Клечковская, Б.З. Шарипов, И.В. Эрнст, В.К. Зайцев. Электрические и фотоэлектрические свойства гетерофазных структур на основе кремния и силицидов марганца (Ташкент, MERIYUS, 2014)
  6. U. Gottlieb, A. Sulpice, B. Lambert-Andron, O. Laborde. J. Alloys Comp., 361 (1--2), 13 (2003)
  7. O. Schwomma, A. Preisinger, H. Nowotny, A. Wittmann. Monatsh. Chem., 95 (6), 1527 (1964)
  8. O. Schwomma, H. Nowotny, A. Wittmann. Monatsh. Chem., 94 (4), 681 (1963)
  9. L.M. Levinson. J. Solid State Chem., 6, 126 (1973)
  10. А.С. Орехов, Е.И. Суворова. Кристаллография, 59 (1), 83 (2014). [Eng. version A.S. Orekhov, E.I. Suvorova. Cryst. Rep., 59 (1), 78 (2014)]
  11. Z.M. Wang, Y.D. Wu, Y.J. He. Int J. Mod. Phys. B, 18 (1), 87 (2004)
  12. В.В. Клечковская, Т.С. Камилов, С.И. Адашева, С.С. Худайбердыев, В.И. Муратова. Кристаллография, 39 (5), 894 (1994)
  13. P. Stadelman. JEMS electron microscopy simulation software. http://cime.epfl.ch/reserch/jems
  14. D.B. Williams, C.B. Carter. The transmission electron microscopy. A Textbook for Materials Science (Springer Science \& Business Media, 2009) p. 760
  15. А.С. Орехов, Т.С. Камилов, А.С. Орехов, Н.А. Архарова, Е.В. Ракова, В.В. Клечковская. Рос. нанотехнологии, 11 (5-6), 46 (2016). [Eng. version A.S. Orekhov, T.S. Kamilov, A.S. Orekhov, N.A. Arkharova, E.V. Rakova, V.V. Klechkovskaya. Nanotech. in Rus., 11 (9-10), 610 (2016)]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.