"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние повышения плотности каскадов столкновений на эффективность генерации первичных смещений при ионной бомбардировке Si
Карабешкин К.В.1, Карасев П.А.1, Титов А.И.1
1Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: yanikolaus@yandex.ru, platon.karaseov@spbstu.ru
Поступила в редакцию: 27 января 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.

Распределения по глубине структурных нарушений, создаваемых в процессе имплантации в кремний ионов P и PF4 с энергиями от 0.6 до 3.2 кэВ/а.е.м., экспериментально получены в широком диапазоне доз при комнатной температуре. Установлено, что внедрение молекулярных ионов PF4 во всех случаях приводит к формированию практически одномодальных профилей распределения дефектов, максимум которых примыкает к поверхности. Это явление связано с усилением эффективности генерации первичных смещений у поверхности мишени. В начальной части пробега молекулярных ионов имеет место перекрытие субкаскадов, генерируемых атомами - компонентами молекул, приводящее к нелинейным процессам в объединенных каскадах из-за высокой плотности в них атомных смещений. На основании анализа экспериментальных данных проведена количественная оценка усиления эффективности генерации первичных дефектов на каскадной стадии их формирования ионами PF4 по сравнению с ионами P.
  1. J.A. Davies. In: Ion Implantation and Beam Processing, ed. by J.S. Williams, J.M. Poate (Sydney, Academic Press, 1984)
  2. D.A. Thompson. Rad. Eff., 56, 105 (1981)
  3. A.Yu. Azarov, S.O. Kucheyev, A.I. Titov, P.A. Karaseov. J. Appl. Phys., 102, 083 547 (2007)
  4. S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, T.M. Kuchumova. J. Phys. D: Appl. Phys., 42, 085 309 (2009)
  5. A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, A. Hallen. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 267, 1247 (2009)
  6. A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, S.O. Kucheyev, A. Hallen, A.Yu. Kuznetsov, B.G. Svensson, A.P. Pathak. Vacuum, 84, 1058 (2010)
  7. A.I. Titov, V.S. Belyakov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 194, 323 (2002)
  8. A.I. Titov, A.Yu. Azarov, L.M. Nikulina, S.O. Kucheyev. Phys. Rev. B, 73, 064 111 (2006)
  9. A.I. Titov, A.Yu. Azarov, L.M. Nikulina, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 256, 207 (2007)
  10. К.В. Карабешкин, П.А. Карасев, А.И. Титов. ФТП, 47 (2), 206 (2013)
  11. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon Press, N. Y., 1985); J.F. Ziegler. SRIM-2013 software package, http://www.srim.org
  12. A.I. Titov, P.A. Karaseov, A.Yu. Azarov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 267, 2701 (2009)
  13. J.A. Brinkman. J. Appl. Phys., 25, 961 (1954)
  14. M.W. Ullah, A. Kuronen, K. Nordlund, F. Djurabekova, P.A. Karaseov, K.V. Karabeshkin, A.I. Titov. J. Appl. Phys., 114, 183 511 (2013)
  15. M.W. Ullah, A. Kuronen, F. Djurabekova, K. Nordlund, A.I. Titov, P. Karaseov. Vacuum, 105, 88 (2014)
  16. П.А. Карасев, Т.М. Кучумова. Научно-технические ведомости СПбГПУ, сер. физ.-мат. науки, 2 (77), 29 (2009)
  17. A.I. Gerasimov, E.I. Zorin, P.V. Pavlov, D.I. Tetelbaum. Phys. Status Solidi A, 12, 679 (1972)
  18. В.Н. Гаштольд, Н.Н. Герасименко, А.В. Двуреченский, Л.С. Смирнов. ФТП, 9, 554 (1975)
  19. И.А. Аброян, Н.Ф. Зитта, В.В. Конышев, А.И. Титов, А.В. Хлебалкин. Изв. АН СССР. Сер. физ., 40, 1749 (1976)
  20. И.А. Аброян, А.И. Титов, А.В. Хлебалкин. ФТП, 11, 712 (1977)
  21. T. Lohner, E. Kotai, N.Q. Khanh, Z. Toth, M. Fried, K. Vedam, N.V. Nguyen, L.J. Hanekamp, A. van Silfhout. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 85, 335 (1994)
  22. A.I. Titov, G. Carter. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 90, 3867 (1996)
  23. A.I. Titov, V.S. Belyakov, A.Yu. Azarov. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 212, 169 (2003)
  24. A. Agarwal, T. E. Haynes, D.J. Eaglesham, H.-J. Gossmann, D.C. Jacobson, J.M. Poate, Yu.E. Erokhin. Appl. Phys. Lett., 70, 3332 (1997)
  25. K. Kimura, A. Agarwal, H. Toyofuku, K. Nakajima, H.-J. Gossman. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 148, 284 (1999)
  26. J. Van den Berg, S. Zhang, S. Whelan, D. Armour, R. Goldberg, P. Bailey, T. Noakes. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 183, 154 (2001)
  27. J.S. Williams, Xianfang Zhu, M.C. Ridgway, M.J. Conway, B.C. Williams, F. Fortuna, M.-O. Ruault, H. Bernas. Appl. Phys. Lett., 77, 4280 (2000)
  28. K. Schmid. Rad. Eff., 17, 201 (1973)
  29. J.S. Williams, G. de M. Azevedo, H. Bernas, F. Fortuna. In: Materials Science with Ion Beams (Topics in Applied Physics, v. 116), ed. by H. Bernas (Springer, 2010)
  30. А.Ю. Азаров. ФТП, 38 (12), 1445 (2004)
  31. S. Charnvanichborikarn, M.T. Myers, L. Shao, S.O. Kucheyev. J. Phys.: Condens. Matter, 25, 162 203 (2013)
  32. А.Ю. Азаров, А.И. Титов. ФТП, 41 (1), 7 (2007).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.