"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Рост нанокластеров кремния в термическом диоксиде кремния при отжиге в атмосфере азота
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), А, 15-03-06206
Иванова Е.В. 1, Ситникова А.А. 1, Александров О.В.2, Заморянская М.В. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: ivanova@mail.ioffe.ru, sitnikova@mail.ioffe.ru, aleksandr_ov@mail.ru, zam@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 ноября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Впервые обнаружено, что при высокотемпературном отжиге (T=1150oC) в среде осушенного азота в приповерхностном слое термического диоксида кремния происходит образование нанокластеров кремния. Изучение спектров катодолюминесценции указывает на то, что при таком отжиге диоксида кремния образуется приповерхностная дефектная область, в которой при длительном отжиге формируются нанокластеры кремния. Методами просвечивающей электронной микроскопии показано, что кластеры кремния имеют размеры 3--5.5 нм и располагаются на глубине около 10 нм от поверхности. Материалом для формирования нанокластеров кремния, служит кремний из термической пленки диоксида кремния. Такой метод формирования нанокластеров кремния предложен впервые.
  1. J. Dutta, H. Hofmann, C. Hollestein, H. Hofmeister. In: Nanoparticles and Nanostructured Films: Preparation, Characterization and Application (1998) chap. 5, p. 101
  2. R.A. Bley, S.M. Kauzlarich. In: Nanoparticles and nanostructured films: Preparation, Characterization and Application (1998) chap. 8 p. 173
  3. B.M. Monroy, G. Santana, J. Fandio, A. Ortiz, J.C. Alonso. J. Nanosci. Nanotechnol., 6 (12), 3752 (2006)
  4. P.R.J. Wilson, T. Roschuk, K. Dunn, E.N. Normand, E. Chelomentsev, O.H.Y. Zalloum, J. Wojcik, P. Mascher. Nanoscale Res. Lett., 6, 168 (2011)
  5. E.W. Draeger, J.C. Grossman, A.J. Williamson, G. Galli. Phys. Status Solidi B, 239 (1), 11 (2003)
  6. J. Dutta, R. Houriet, H. Hofmann, H. Hofmeister. Nanostructured Mater., 9, 359 (1997)
  7. Y. Wu, Y. i Cui, L. Huynh, C.J. Barrelet, D.C. Bell, C.M. Lieber. Nano Lett., 4 (3), 433 (2004)
  8. A.J. Adamczyk, M.F. Reyniers, G.B. Marin, L.J. Broadbelt. Chem. Phys. Chem., 11 (9), 1978 (2010)
  9. T. Muller, K.-H. Heinig, W. Moller. Appl. Phys. Lett., 81, 3049 (2002)
  10. M.V. Zamoryanskaya, E.V. Ivanova, A.A. Sitnikova. Phys. Solid State, 53 (7), 1474 (2011)
  11. E.V. Kolesnikova, M.V. Zamoryanskaya. Physica B: Condens. Matter, 404, 4653 (2009)
  12. L.N. Skuja, A.R. Silin. Phys. Status Solidi A, 70, 43 (1982)
  13. C.M. Gee, M. Kastner. J. Non-Cryst. Sol., 40, 577 (1980)
  14. H.-J. Fitting, T. Barfels, A.N. Trukhin, B. Schmidt, A. Gulans, A. Von Czarnovski. J. Non-Cryst. Sol., 303, 218 (2002)
  15. G.D. Sanders, Y.C. Chang. Phys. Rev. B, 45, 9202 (1992)
  16. J. Wang, X.F. Wang, Q. Li, W. Hryciw, A. Meldrum. Philosophical Magazine, 87 (1), 11 (2007)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.