"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние условий изготовления светодиодов на основе SiGe на их люминесцентные и электрофизические свойства
Калядин А.Е.1, Соболев Н.А.1, Стрельчук А.М.1, Аруев П.Н.1, Забродский В.В.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 30 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.

Исследованы n+-p-p+-светодиоды на основе SiGe, сильно легированные слои в которых изготовлены по диффузионной (диффузия бора и фосфора) и газофазной (нанесение слоев поликристаллического кремния, легированных бором и фосфором, путем газофазного осаждения) технологиям. Спектры электролюминесценции обоих типов светодиодов идентичны, однако интенсивность в диодах газофазной технологии ниже в ~ 20 раз. В диодах газофазной технологии по сравнению с диффузионными наблюдалось существенное увеличение обратных и прямых токов. Ухудшение люминесцентных и электрофизических характеристик газофазных диодов обусловлено образованием дефектов на границе между эмиттерным и базовым слоями.
  1. T. Stoica, L. Vescan, M. Goryll. J. Appl. Phys., 83, 3367 (1998)
  2. T. Stoica, L. Vescan. Semicond. Sci. Technol., 18, 409 (2003)
  3. N.A. Sobolev. Mater. Sci. Forum, 590, 79 (2008)
  4. A.M. Emel`yanov, N.A. Sobolev, T.M. Mel`nikova, N.V. Abrosimov. Sol. St. Phenomena, 108--109, 761 (2005)
  5. А.М. Емельянов, Н.А. Соболев, Т.М. Мельникова, Н.В. Абросимов. ФТП, 39, 1170 (2005)
  6. В.Л. Суханов, П.Н. Аруев, М.В. Дроздова, Н.В. Забродская, В.В. Забродский, М.С. Лазеева, В.В. Филимонов, Е.В. Шерстнев. ФТП, 47, 174 (2013)
  7. Л.Б. Лопатина, В.Л. Суханов, В.М. Тучкевич, Н.М. Шмидт, Б.С. Явич. Письма ЖТФ, 16, 11 (1979)
  8. А.Б. Грудинин, Е.И. Иванов, В.Л. Суханов, В.М. Тучкевич, Н.М. Шмидт. ФТП, 15, 920 (1981).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.