Метаморфные брэгговские отражатели спектрального диапазона 1440-1600 нм: эпитаксия, формирование и заращивание мезаструктур
Егоров А.Ю.1,2,3, Карачинский Л.Я.1,2,3, Новиков И.И.1,2,3, Бабичев А.В., Березовская Т.Н.4, Неведомский В.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
3ООО "Коннектор Оптикс", Санкт-Петербург, Россия
4Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 апреля 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.
-1 Показана возможность создания метаморфных распределенных брэгговских отражателей In0.3Ga0.7As/In0.3Al0.7As с полосой отражения 1440-1600 нм и с коэффициентом отражения не менее 0.999 на подложке GaAs методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Продемонстрированы возможность заращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии мезаструктур, изготовленных из метаморфных распределенных брэгговских отражателей на подложке GaAs, а также возможность локального формирования микрорезонаторов за два эпитаксиальных процесса. Полученные результаты найдут широкое применение при формировании вертикально-излучающих лазеров (ВИЛ) с захороненным туннельным переходом.
- A. Leuther, A. Tessmann, I. Kallfass, H. Massler, R. Loesch, M. Schlechtweg, M. Mikulla, O. Ambacher. Indium Phosphide \& Related Materials (IPRM) (2010) p. 1; G. Ng, K. Radhakrishnan, H. Wang. Eur. Conf.: Gallium Arsenide and Other Semiconductor Application Symposium (EGAAS 2005) (2005)
- F. Capotondi, G. Biasiol, I. Vobornik, L. Sorba, F. Giazotto, A. Cavallini, B. Fraboni. J. Vac. Sci. Technol. B, 22 (2), 702 (2004)
- Г.Б. Галиев, С.С. Пушкарев, И.С. Васильевский, Е.А. Климов, Р.М. Имамов. ФТП, 47 (7), 990 (2013)
- Л.Я. Карачинский, T. Kettler, Н.Ю. Гордеев, И.И. Новиков, М.В. Максимов, Ю.М. Шерняков, Н.В. Крыжановская, А.Е. Жуков, Е.С. Семенова, А.П. Васильев, В.М. Устинов, Н.Н. Леденцов, А.Р. Ковш, В.А. Щукин, С.С. Михрин, A. Lochmann, O. Schulz, L. Reissmann, D. Bimberg. ФТП, 39 (12), 1464 (2005)
- T. Kettler, L.Y. Karachinsky, N.N. Ledentsov, V.A. Shchukin, G. Fiol, M. Kuntz, A. Lochmann, O. Schulz, L. Reissmann, K. Posilovic, D. Bimberg, I.I. Novikov, Yu.M. Shernyakov, N.Yu. Gordeev, M.V. Maximov, N.V. Kryzhanovskaya, A.E. Zhukov, E.S. Semenova, A.P. Vasil'ev, V.M. Ustinov, A.R. Kovsh. Appl. Phys. Lett., 89 (4), 041 113 (2006)
- D.A. Louderback, M.A. Fish, J.F. Klem, D.K. Serkland, K.D. Choquette, G.W. Pickrell, R.V. Stone, P.S. Guilfoyle. IEEE Photon. Technol. Lett., 16 (4), 963 (2004)
- A. Yue, K. Shen, R. Wang, J. Shi. IEEE Photon. Lett., 16 (3), 717 (2004)
- G. Steinle, H. Riechert, A.Y. Egorov. Electron. Lett., 37 (2), 93 (2001); G. Steinle, F. Mederer, M. Kicherer, R. Michalzik, G. Kristen, A.Y. Egorov, H. Riechert, H.D. Wolf, K.J. Ebeling. Electron. Lett., 37 (10), 632 (2001)
- M. Hofmann, A. Wagner, C. Ellmers, C. Schlichenmeier, S. Schafer, F. Hohnsdorf, J. Koch, W. Stolz, S.W. Koch, W.W. Ruhle, J. Hader, J.V. Moloney, E.P. O'Reilly, B. Borchert, A.Yu. Egorov, H. Riechert. Appl. Phys. Lett., 78 (20), 3009 (2001); M.R. Hofmann, N. Gerhardt, A.M. Wagner, C. Ellmers, F. Hohnsdorf, J. Koch, W. Stolz, S.W. Koch, W.W. Ruhle, J. Hader, J.V. Moloney, E.P. O'Reilly, B. Borchert, A.Y. Egorov, H. Riechert, H.C. Schneider, W.W. Chow. IEEE J. Quantum Electron., 38 (2), 213 (2002)
- F. Quochi, J.E. Cunningham, M. Dinu, J. Shah. Electron. Lett., 36 (25), 2075 (2000)
- E. Soderberg, J.S. Gustavsson, P. Modh, A. Larsson, Z. Zhang, J. Berggren, M. Hammar, J. Lightw. Technol., 25 (9), 2791 (2007)
- А.Е. Жуков, А.П. Васильев, А.Р. Ковш, С.С. Михрин, Е.С. Семенова, А.Ю. Егоров, В.А. Одноблюдов, Н.А. Малеев, Е.В. Никитина, Н.В. Крыжановская, А.Г. Гладышев, Ю.М. Шерняков, М.В. Максимов, Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, Ж.И. Алфeров. ФТП, 37 (12), 1461 (2003)
- N.N. Ledentsov, A.R. Kovsh, A.E. Zhukov, N.A. Maleev, S.S. Mikhrin, A.P. Vasil'ev, E.S. Semenova, M.V. Maximov, Yu.M. Shernyakov, N.V. Kryzhanovskaya, V.M. Ustinov, D. Bimberg. Electron. Lett., 39 (15), 1126 (2003)
- L.Y. Karachinsky, T. Kettler, N.Y. Gordeev, I.I. Novikov, M.V. Maximov, Y.M. Shernyakov, N.V. Kryzhanovskaya, A.E. Zhukov, E.S. Semenova, A.P. Vasil'ev, V.M. Ustinov, N.N. Ledentsov, A.R. Kovsh, V.A. Shchukin, S.S. Mikhrin, A. Lochmann, O. Schulz, L. Reissmann, D. Bimberg. Electron. Lett., 41 (8), 478 (2005)
- D. Ellafi, V. Iakovlev, A. Sirbu, G. Suruceanu, Z. Mickovic, A. Caliman, A. Mereuta, E. Kapon. Opt. Express, 22 (26), 32 180 (2014),
- T. Czyszanowski, N. Volet, J. Walczak, M. Dems, R. Sarzala, V. Iakovlev, A. Sirbu, A. Mereuta, A. Caliman, E. Kapon. IEEE J. Quantum Electron., 50 (9), 732 (2014)
- A. Syrbu, V. Iakovlev, A. Caliman, P. Royo, E. Kapon. Optical Fiber Communication Conference (California, USA, February, 2008), p. OThS2
- C. Gierl, T. Grundl, S. Paul, K. Zogal, M.T. Haidar, P. Meissner, M.-C. Amann, F. Kuppers. Opt. Express, 22 (11), 13 063 (2014)
- S. Spiga, C. Xie, P. Dong, M.C. Amann, P. Winzer. 16th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON) (Graz, Austria, July, 2014), p. 1,
- C. Grasse, M. Mueller, T. Gruendl, G. Boehm, E. Roenneberg, P. Wiecha, J. Rosskopf, M. Ortsiefer, R. Meyer, M.C. Amann. J. Cryst. Growth, 370, 217 (2013)
- M. Ortsiefer, J. Rosskopf, B. Kogel, A. Daly, M. Gorblich, Y. Xu, C. Greus, C. Neumeyr. Semiconductor Laser Conference (ISLC), (Palma de Mallorca, Spain, 2014) p. 74
- A.R. Clawson. Mater. Sci. Eng. R-Rep., 31 (1), 1 (2001).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.