Вышедшие номера
Изменение свойств системы <пористый Si> / Si при постепенном стравливании слоя пористого Si
Венгер Е.Ф.1, Горбач Т.Я.1, Кириллова С.И.1, Примаченко В.Е.1, Чернобай В.А.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 26 июня 2001 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2002 г.

Исследования в растровом электронном микроскопе показали, что стравливание слоя пористого кремния в растворе HF происходит неравномерно. При постепенном стравливании пористого кремния величина фотолюминесценции пористого кремния существенно уменьшается, а ее максимум сдвигается сначала в коротковолновую, а затем в длинноволновую область. Измерения фотоэдс на импульсах красного света показали, что граничный потенциал varphis подложки p-Si положителен и значения varphis возрастают при стравливании слоя пористого кремния, а также при понижении температуры от 300 до 200 K. При T<230 K наблюдается фотопамять varphis, связанная с захватом неравновесных электронов на граничные ловушки p-Si. Концентрации мелких ловушек и граничных электронных состояний p-Si при стравливании пористого кремния возрастают. При T<180 K система граничных состояний перестраивается. Измерения фотоэдс на импульсах белого света обнаружили захват электронов на ловушки оксида состаренного пористого кремния.