"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Атомные процессы в полупроводниковых кристаллах
Смирнов Л.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 14 февраля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2001 г.

Приведен исторический обзор становления под общим руководством и при участии Анатолия Васильевича Ржанова нового направления радиационной физики и технологии полупроводников. Направления, давшего массу практических приложений, но главное, заставившего коренным образом пересмотреть устоявшиеся ранее представления о реакциях в полупроводниковых кристаллах на основе данных о подвижной, подверженной внешним воздействиям, дефектно-примесной подсистеме. Развитые положения - база для рассмотрения процессов на атомарном уровне, особенно при формировании и модификации активных кластеров и нанообъектов.
  1. В.В. Болотов, А.И. Васильев, Н.Н. Герасименко, А.В. Двуреченский, Г.А. Качурин, В.И. Попов, Л.С. Смирнов, В.Ф. Стась. Физические процессы в облученных полупроводниках (Новосибирск, Наука, 1977)
  2. Л.С. Смирнов, С.П. Соловьев, В.Ф. Стась, В.А. Харченко. Легирование полупроводников путем ядерных реакций (Новосибирск, Наука, 1981)
  3. В.В. Болотов, А.И. Васильев, А.В. Двуреченский, Г.А. Качурин, Н.Б. Придачин, Л.С. Смирнов, В.Ф. Стась. Вопросы радиационной технологии полупроводников (Новосибирск, Наука, 1980)
  4. А.В. Двуреченский, Г.А. Качурин, Е.В. Нидаев, Л.С. Смирнов. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов (М., Наука, 1982)
  5. А.Л. Асеев, Л.И. Федина, Д. Хеэль, Х. Барч. Скопление междоузельных атомов в кремнии и германии (Новосибирск, Наука, 1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.